Co to jest SOI

Krzem na izolatorze (SOI) jest uznawany za jedno z rozwiązań zastępujących istniejące monokrystaliczne materiały krzemowe w erze nanotechnologii i jest głównym narzędziem utrzymania trendu prawa Moore'a. Krzem na izolatorze, technologia substratu, która zastępuje tradycyjne podłoże krzemowe substratem „inżynieryjnym”, jest stosowana od ponad 30 lat w specjalistycznych zastosowaniach, takich jak systemy elektroniki wojskowej i kosmicznej, gdzie SOI ma wyjątkowe zalety dzięki doskonałej odporność na promieniowanie i właściwości przy dużych prędkościach.

Materiały SOI są podstawą rozwoju technologii SOI, a rozwój technologii SOI zależy od ciągłego rozwoju materiałów SOI. Brak tanich, wysokiej jakości materiałów SOI był głównym ograniczeniem wejścia technologii SOI do produkcji przemysłowej na dużą skalę. W ostatnich latach, wraz z dojrzałością technologii przygotowania materiału SOI, stopniowo rozwiązywany jest problem materiałowy, który ogranicza rozwój technologii SOI, która ostatecznie obejmuje dwa rodzaje technologii przygotowania materiału SOI, a mianowicie Speration-by-oxygen implantation (SIMOX) i technologii klejenia. Technologia łączenia obejmuje tradycyjną technologię Bond and Etch back (BESOI) oraz technologię Smart-cut łączącą wstrzykiwanie jonów wodorowych i wiązanie zaproponowaną przez M. Bruela, jednego z założycieli firmy SOITEC we Francji, a także preparat materiału Simbond SOI łączący izolacja tlenowa i wiązanie zaproponowane przez dr Meng Chen w 2005 r. Nowa technologia łączy izolację i wiązanie za pomocą wtrysku tlenu.