Znajomość wiosła wspornikowego

Podczas przetwarzania płytki półprzewodnikowe muszą być zwykle podgrzewane w specjalistycznym piecu. Takie piece zazwyczaj składają się z długich, cienkich, cylindrycznych rur. Płytki umieszcza się w piecu i reaktorze w taki sposób, że są one rozmieszczone wzdłuż płaszczyzny określonej przez kołowy przekrój poprzeczny pieca lub reaktora i są oddalone od siebie w określonych z góry, zwykle równo rozmieszczonych punktach wzdłuż centralnej osi piec lub reaktor. Aby osiągnąć to ustawienie, płytki są zwykle umieszczane na uchwytach ze szczelinami, zwanych łódkami waflowymi, które umieszczają płytki w konfiguracji rozmieszczonej wzdłuż osi środkowej.

Małe łódki zawierające partie wafli do przetworzenia są umieszczane na długich łopatkach wspornikowych, przez które można wkładać i wyjmować piece rurowe i reaktory. Takie wiosła zazwyczaj zawierają płaską sekcję nośną, na której można umieścić jedną lub więcej małych łódek, oraz długą rączkę, umieszczoną na jednym końcu płaskiej sekcji nośnej, za pomocą której można przenosić wiosła. Część przejściowa jest zwykle utworzona między uchwytem a częścią nośną, aby utworzyć z nich całość. Ponadto uchwyt musi wystawać z pieca lub reaktora, aby można było nim manipulować i łódeczką waflową.

Umiejscowienie statku waflowego w piecu lub reaktorze jest ważne, ponieważ pożądane jest umieszczenie środka każdej wafla jak najbliżej centralnej osi pieca lub reaktora, aby uzyskać jednolite warunki przetwarzania, którym poddawane są wafle. Dlatego wygięcie łopatki spowodowane ciężarem statku przewożącego płytki musi być uwzględnione w konstrukcji łopatki, zwłaszcza że łopatka jest podparta tylko na jednym końcu, tj. końcu wystającym z komory pieca. Oprócz uwzględnienia konstrukcji wiosła wynikającej z wymagań dotyczących ciężaru operacyjnego, należy również zastosować zestaw zacisków zaprojektowanych do precyzyjnego utrzymywania wysuniętego końca wiosła w odpowiedniej pozycji. Zaciski te muszą być dość solidne, aby utrzymać wiosło w dokładnie pożądanej pozycji, a jednocześnie być proste w użyciu i minimalizować możliwość uszkodzenia wiosła podczas zaciskania.

Dlatego potrzebna była łopatka wspornikowa, która mogłaby być używana z większym obciążeniem, a jednocześnie pozostała kompatybilna z istniejącymi systemami mocowania. Istniało również zapotrzebowanie na wiosło wspornikowe, które wykazywałoby akceptowalną charakterystykę ugięcia w całym zakresie obciążeń, z którymi mogłoby być używane.

Czaleca się stosowanie wiosła przeciwpoślizgowego do stosowania rekrystalizowanego węglika krzemu z cienką warstwą CVD SiC, która ma wysoką czystość i jest najlepszym wyborem dla komponentów w przetwarzaniu półprzewodników.

Semicorex może zapewnićwysoka jakośćwiosła wspornikoweIdostosowane usługi zgodnie z rysunkami i środowiskiem pracy.