Procesy wyżarzania w nowoczesnej produkcji półprzewodników

Ponieważ węzły technologiczne stale się kurczą, tworzenie bardzo płytkich połączeń stwarza poważne wyzwania. Procesy wyżarzania termicznego m.inSzybkie wyżarzanie termiczne (RTA)i wyżarzanie lampą błyskową (FLA) to istotne techniki umożliwiające utrzymanie wysokiego współczynnika aktywacji zanieczyszczeń przy jednoczesnej minimalizacji dyfuzji, zapewniając optymalną wydajność urządzenia.

1. Bardzo płytkie formowanie połączeń:

W miarę kurczenia się węzłów technologicznych tworzenie bardzo płytkich połączeń staje się coraz większym wyzwaniem. Techniki takie jak szybkie wyżarzanie termiczne (RTA) i wyżarzanie lampą błyskową (FLA) mają kluczowe znaczenie dla osiągnięcia wysokiego współczynnika aktywacji zanieczyszczeń przy jednoczesnej minimalizacji dyfuzji, zapewniając w ten sposób optymalną wydajność urządzenia.

2. Modyfikacja dielektryków bramkowych o wysokim k:

Wyżarzanie po osadzaniu (PDA) znacznie poprawia właściwości elektryczne dielektryków bramkowych o wysokim k. Proces ten zmniejsza prądy upływowe bramki i zwiększa stałe dielektryczne, które są niezbędne w zaawansowanych urządzeniach logicznych i pamięciowych.

3. Tworzenie krzemków metali:

Optymalizacja krzemków metali, takich jak CoSi i NiSi, jest niezbędna do poprawy odporności kontaktowej i objętościowej. Precyzyjna kontrola warunków wyżarzania ułatwia tworzenie idealnych faz stopowych, zwiększając ogólną wydajność urządzenia.

4. Technologie integracji 3D:

W technologiach takich jak 3D NAND i 3D DRAM procesy wyżarzania muszą być stosowane na wielu warstwach. Szybkie techniki termiczne odgrywają kluczową rolę w zapewnieniu optymalnej wydajności każdej warstwy.

Wyżarzanie ma kluczowe znaczenie w produkcji półprzewodników, umożliwiając naprawę uszkodzeń sieci, aktywację zanieczyszczeń, modyfikację powłoki i tworzenie krzemków metali poprzez precyzyjną kontrolę temperatury, czasu i budżetów cieplnych. W miarę kurczenia się węzłów technologicznych zaawansowane metody wyżarzania, takie jakRTA, FLA i wyżarzanie laserowe stały się głównym nurtem. Patrząc w przyszłość, proces wyżarzania będzie nadal udoskonalany, aby sprostać wymaganiom pojawiających się materiałów i urządzeń.

Semicorex oferuje wiodące w branżyrozwiązania do wyżarzania, zapewniając, że Twoje urządzenia półprzewodnikowe spełniają najwyższe standardy wydajności, precyzji i niezawodności.

Jeśli masz jakiekolwiek pytania lub potrzebujesz dodatkowych szczegółów, nie wahaj się z nami skontaktować.

Numer telefonu kontaktowego +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com