Co to jest trawienie plazmowe w niskiej temperaturze?

Plazma jest czwartym stanem materii i odgrywa kluczową rolę zarówno w zastosowaniach przemysłowych, jak i zjawiskach naturalnych. Na przykład plazma występuje w wyładowaniach atmosferycznych i jest wytwarzana w dużych ilościach na powierzchni Słońca, gdzie temperatura rdzenia osiąga zdumiewającą wartość 13 500°C. Ta wysokotemperaturowa plazma nie nadaje się do większości przemysłowych procesów produkcyjnych.

Z drugiej strony plazma niskotemperaturowa jest sztucznie wytworzoną formą plazmy, która wykorzystuje energię, a nie ciepło, do przyspieszenia reakcji chemicznych. Jego temperatura waha się zazwyczaj od temperatury pokojowej do kilkuset stopni Celsjusza, co czyni go wysoce skutecznym w różnych zastosowaniach.

Kroki, aby wygenerować sztuczną plazmę:

1. Zmniejsz ciśnienie w komorze: Rozpocznij od użycia pompy próżniowej, aby obniżyć ciśnienie w komorze. Osiągnięcie niskiego ciśnienia jest niezbędne do stabilizacji plazmy i ułatwienia jonizacji gazu.

2. Wprowadź gaz procesowy: Wstrzyknij do komory określone gazy procesowe. Gazy te służą jako główne źródło cząstek w plazmie.

3. Wzbudź plazmę: Zastosuj moc, aby zjonizować gaz, skutecznie tworząc plazmę.

4. Dezaktywuj plazmę i przywróć ciśnienie atmosferyczne: Po zakończeniu żądanych reakcji wyłącz plazmę i przywróć w komorze ciśnienie atmosferyczne.

Zastosowania plazmy niskotemperaturowej w produkcji półprzewodników:

Plazma niskotemperaturowa jest niezbędna w produkcji półprzewodników, pełniąc krytyczne funkcje w procesie trawienia na sucho, fizycznego osadzania z fazy gazowej (PVD), chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD), osadzania warstwy atomowej (ALD), implantacji jonów, spopielania i wykrywania punktu końcowego. Jego wszechstronność i wydajność sprawiają, że jest to podstawowe narzędzie w branży.

Oferta Semicorexuwysokiej jakości rozwiązania do trawienia plazmowego. Jeśli masz jakiekolwiek pytania lub potrzebujesz dodatkowych szczegółów, nie wahaj się z nami skontaktować.

Numer telefonu kontaktowego +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com