Struktura uchwytu elektrostatycznego (ESC)

JakiśUchwyt elektrostatyczny (ESC)to urządzenie służące do utrzymywania płytek półprzewodnikowych na miejscu podczas procesów takich jak trawienie, osadzanie lub polerowanie. Działa poprzez generowanie pola elektrostatycznego, które przyciąga i bezpiecznie utrzymuje płytkę na powierzchni uchwytu, zapewniając stabilność i precyzyjne ustawienie podczas przenoszenia płytki. ESC są szeroko stosowane w produkcji półprzewodników w celu poprawy dokładności procesu i wydajności obsługi płytek.

Rzeczywisty obraz konwencjonalnyuchwyt elektrostatyczny (ESC)jest przedstawiony na rysunku. Podstawowa różnica pomiędzy modelami polega na materiale warstwy izolacyjnej na powierzchni uchwytu elektrostatycznego. Na rysunku ciemny kolor reprezentuje azotek glinu, podczas gdy biały kolor przedstawia tlenek glinu. Strukturauchwyt elektrostatycznyskłada się z kilku części:

1. **Warstwa izolacyjna**: Ta warstwa styka się z płytką, zwykle wykonaną z ceramiki z azotku glinu lub tlenku glinu ze względu na ich doskonałą wytrzymałość mechaniczną, odporność na wysoką temperaturę i dobrą przewodność cieplną.

2. **Kołek wypychacza i otwór gazowy**: Trzpień wypychacza przeznaczony jest do przenoszenia płytki. Gdy płytka wchodzi do komory trawienia, kołek wypychacza podnosi się, aby go podeprzeć, a następnie opuszcza się, aby umieścić płytkę na powierzchni uchwytu elektrostatycznego. Trzpień wypychacza ma zwykle pustą w środku konstrukcję, umożliwiającą wprowadzenie helu w celu schłodzenia płytki.

3. **Kanał przepływu wstecznego**: Ten składnik poprawia odprowadzanie ciepła i ułatwia adsorpcję płytki.

4. **Elektroda elektrostatyczna**: Elektroda ta wytwarza pole elektryczne, które wytwarza siłę elektrostatyczną niezbędną do utrzymania płytki na miejscu. Zazwyczaj elektroda jest płaska i jest albo osadzona w materiale izolacyjnym, albo osadzona na nim. Powszechnie stosowane materiały przewodzące obejmują aluminium, miedź i wolfram.

5. **Obieg wody chłodzącej i elektroda grzewcza**: Elementy te odpowiadają przede wszystkim za ogólną kontrolę temperatury uchwytu elektrostatycznego. Elektroda grzewcza i cyrkulująca woda chłodząca współpracują ze sobą, aby utrzymać stabilną temperaturę płytki. Poleganie wyłącznie na krążącej wodzie chłodzącej może prowadzić do braku możliwości zarządzania ciepłem wytwarzanym podczas procesu trawienia, co może zagrozić stabilności procesu.  

Semicorex oferuje wysoką jakośćUchwyt elektrostatyczny (ESC). Jeśli masz jakiekolwiek pytania lub potrzebujesz dodatkowych szczegółów, nie wahaj się z nami skontaktować.

Numer telefonu kontaktowego +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com