Homoepitaksja i heteroepitaksja odgrywają kluczową rolę w naukach o materiałach. Homoepitaksja polega na wzroście warstwy krystalicznej na podłożu z tego samego materiału, zapewniając minimalne defekty dzięki doskonałemu dopasowaniu sieci. Natomiast heteroepitaksja tworzy warstwę krystaliczną na inn......
Czytaj więcejAby spełnić wysokie wymagania jakościowe procesów obwodów chipowych IC o szerokości linii mniejszej niż 0,13 μm do 28 nm dla krzemowych płytek polerskich o średnicy 300 mm, istotne jest zminimalizowanie zanieczyszczenia powierzchni płytki przez zanieczyszczenia, takie jak jony metali.
Czytaj więcej