Słoneczna łódź grafitowa PECVD

PółcorexŁodzie z grafitu słonecznego PECVDsą precyzyjnie wykonane z wysokiej czystościgrafit izostatyczny. Każda łódź z grafitu słonecznego PECVD firmy Semicorex przechodzi precyzyjną obróbkę, kontrolę wymiarową i testy wydajności elektrycznej, aby zapewnić stabilną pracę w środowiskach plazmy o wysokiej temperaturze.

Podczas przetwarzania PECVD słoneczna grafitowa łódź PECVD przenosi płytki krzemowe do komory reakcyjnej PECVD i służy jako elektroda podłączona do źródła zasilania RF. Po przyłożeniu napięcia zmiennego pomiędzy sąsiednimi płytami łodzi powstaje pole elektryczne. Pod wpływem pola elektrycznego reaktywne gazy (takie jak silan SiH₄ i amoniak NH₃) ulegają wyładowaniu jarzeniowemu i wytwarzają plazmę. Jony i wolne rodniki w plazmie rozkładają gazy prekursorowe, tworząc jony krzemu (Si) i azotu (N). Jony te łączą się, tworząc cząsteczki azotku krzemu (Si₃N₄), które następnie osadzają się na powierzchni płytki krzemowej, tworząc cienkie warstwy.

1. Wyjątkowa stabilność termiczna

Ze współczynnikiem rozszerzalności cieplnej zbliżonym do płytek krzemowych, SemicorxŁódź z grafitu słonecznego PECVDulega znikomej zmianie wymiarów po podgrzaniu, co w niezawodny sposób pozwala uniknąć uszkodzeń płytek wywołanych naprężeniami termicznymi.

2. Doskonała przewodność elektryczna i cieplna

Łodzie słoneczne z grafitu Semicorex PECVD charakteryzują się doskonałą przewodnością elektryczną, zapewniając szybkie przewodzenie prądu RF i równomierny rozkład pola elektrycznego, co jest korzystne dla stabilnego wytwarzania plazmy i równomiernego osadzania płytek krzemowych. Dodatkowo jego doskonała przewodność cieplna ułatwia szybkie chłodzenie i ogrzewanie, poprawiając wydajność produkcji, jednocześnie zapobiegając wpływowi miejscowego przegrzania na jakość osadzania.

3. Silna stabilność chemiczna

Dzięki zastosowaniu najwyższej jakości materiału, łódź solarna z grafitu Semicorex PECVD jest mniej podatna na reakcje z reaktywnymi gazami i plazmą. Cecha ta w znaczący sposób zapobiega nierównomiernemu rozkładowi pola elektrycznego spowodowanego korozją, deformacją lub osadzaniem się zanieczyszczeń w łódce grafitowej, zapewniając w ten sposób stabilność procesu osadzania i jakość powierzchni płytek krzemowych.

4. Wyjątkowa wytrzymałość mechaniczna

Dzięki swojej wyjątkowej wytrzymałości mechanicznej, łódź z grafitu słonecznego Semicorex PECVD z łatwością radzi sobie z ciężarem dużych ładunków płytek. Mogą wytrzymać naprężenia mechaniczne powstające podczas załadunku i transportu przez długi czas, bez łatwego odkształcania się i pękania.

5. Doskonała spójność wymiarowa

Łódź z grafitu słonecznego Semicorex PECVD osiąga wyjątkową dokładność wymiarową wszystkich komponentów dzięki precyzyjnej obróbce. Utrzymuje płytkę krzemową w ustalonej pozycji podczas osadzania, co zapewnia równomierne osadzanie i kompatybilność z produkcją zautomatyzowaną.