Porowata ceramika z węglika tantalu

Porowata ceramika z węglika tantalu Semicorex to ultrawysokotemperaturowy materiał ceramiczny o temperaturze topnienia około 3880 ℃, który może utrzymać stabilną wydajność w trudnych warunkach pracy w wysokiej temperaturze i wysokiej korozyjności dzięki następującym doskonałym właściwościom użytkowym.

1. Doskonałe właściwości termiczne

Maksymalna temperatura pracy porowatego Semicorexuceramika z węglika tantalumoże wynosić do 3200 ℃ i może działać stabilnie w warunkach wzrostu kryształów węglika krzemu w wysokiej temperaturze przez długi czas bez deformacji lub zmiękczenia.

2. Wyjątkowa stabilność chemiczna

Porowata ceramika z węglika tantalu Semicorex wykazuje lepszą odporność na korozję i utlenianie niż konwencjonalna ceramika. Może skutecznie wytrzymać korozję wysokotemperaturowego tlenu i par Si w procesie wzrostu kryształów.

3. Specjalna porowata struktura

Porowata ceramika z węglika tantalu Semicorex ma równomiernie rozmieszczone pory wewnętrzne, z porowatością w zakresie 10-60% (możliwość dostosowania) i współczynnikiem porów przelotowych ponad 98%. Ta specjalna struktura umożliwia pierwiastkom w fazie gazowej, takim jak Si i C, płynny przepływ i dyfuzję wewnątrz pieca do wzrostu kryształów, znacznie ułatwiając wzrost wysokiej jakości kryształów.

Zastosowanie we wzroście kryształów węglika krzemu

Podczas wzrostu kryształów węglika krzemu w procesie PVT, porowata ceramika z węglika tantalu Semicorex działa przede wszystkim w filtracji elementów w fazie gazowej, regulacji gradientu temperatury w piecu i sterowaniu przepływem materiału gazowego. W odróżnieniu od konwencjonalnych porowatych materiałów grafitowych pokrytych TaC, porowata ceramika z węglika tantalu Semicorex wykazuje wyraźne zalety: eliminuje porowatośćGrafit pokryty TaCWadę materiałów polegającą na niskim współczynniku porów na wylot spowodowanym obróbką powłoki, przy jednoczesnym uniknięciu bolesnego punktu łuszczenia się powłoki w przypadku porowatych materiałów grafitowych pokrytych TaC w trakcie eksploatacji. Stosując porowatą ceramikę z węglika tantalu Semicorex, można skutecznie hamować defekty włączenia węgla we wzroście kryształów węglika krzemu, znacznie poprawiając w ten sposób jakość wzrostu kryształów i wydajność produktu.