Opis produktu

Rury pieca kwarcowego Semicorex, łódki waflowe, tygle kwarcowe do hodowli monokryształów krzemu są wykonane z wysokiej czystościmateriał kwarcowyl. Kwarc jest szeroko stosowany w przemyśle półprzewodników, kwarc o wysokiej czystości jest ważnym materiałem eksploatacyjnym do produkcji płytek. Głównym rynkiem docelowym części kwarcowych w dziedzinie półprzewodników jest proces dyfuzji i trawienia w produkcji płytek, można go podzielić na dwie główne kategorie: części wysokotemperaturowe i części niskotemperaturowe.

1. Części wysokotemperaturowe to rura pieca kwarcowego, łódka waflowa, uchwyt do łodzi itp. Muszą mieć bezpośredni lub pośredni kontakt z płytką krzemową w środowisku o wysokiej temperaturze i są wykonane głównie ze stopionego szkła kwarcowego, produkowanego w procesie obróbki termicznej.

2. Części niskotemperaturowe to pierścienie kwarcowe w procesie trawienia, w tym kasety, zbiorniki czyszczące w procesie czyszczenia. Stosowane są głównie w środowisku niskotemperaturowym, które są wykonane głównie ze topionego szkła kwarcowego, produkowanego w procesie obróbki na zimno.

Komponenty w strefie wysokiej temperatury zużywają się szybciej, ale są one zwykle stosowane w układach wielopłytkowych (jeden nośnik mieści wiele płytek krzemowych), natomiast komponenty w strefie niskiej temperatury zużywają się wolniej, ale są stosowane w układach jednopłytkowych (jeden nośnik mieści jedną płytkę krzemową); w związku z tym ogólna wielkość rynku w przypadku obu producentów jest stosunkowo podobna.

Piec to obszar, w którym płytki poddawane są procesowi ogrzewania w wysokiej temperaturze, składający się z rury pieca kwarcowego, reaktora i kilku grzejników. Jest szeroko stosowany w procesach dyfuzji, utleniania i RTP w przetwarzaniu półprzewodników. Piec dzieli się głównie na typy poziome i pionowe:. W piecu poziomym wafle umieszczane są na łódce kwarcowej, która z kolei umieszczana jest na nośniku SiC. Z przodu i z tyłu znajdują się także adaptacyjne przegrody. Nośnik wciskany jest do rury pieca kwarcowego, a wafle poddawane są reakcji w strefie stałej temperatury. W piecu pionowym wafle umieszcza się na wieży kwarcowej, a następnie powoli podnosi do rury pieca kwarcowego w celu przetworzenia.

Komponenty w strefie wysokiej temperatury zużywają się szybciej, ale są one zwykle stosowane w układach wielopłytkowych (jeden nośnik mieści wiele płytek krzemowych), natomiast komponenty w strefie niskiej temperatury zużywają się wolniej, ale są stosowane w układach jednopłytkowych (jeden nośnik mieści jedną płytkę krzemową); w związku z tym ogólna wielkość rynku w przypadku obu producentów jest stosunkowo podobna.

Oto zaletykwarcrura pieca:

1. Odporność na wysoką temperaturę. Szkło kwarcowe ma temperaturę mięknienia około 1730 ℃ i może być używane przez dłuższy czas w temperaturze 1150 ℃, przy krótkotrwałej maksymalnej temperaturze sięgającej 1450 ℃.

2. Odporność na korozję. Z wyjątkiem kwasu fluorowodorowego, kwarc o wysokiej czystości prawie nie reaguje chemicznie z innymi substancjami kwaśnymi. W wysokich temperaturach może wytrzymać korozję spowodowaną kwasem siarkowym, kwasem azotowym, kwasem solnym, wodą królewską, solami obojętnymi, węglem i siarką. Jego odporność na kwasy jest 30 razy większa niż w przypadku ceramiki i 150 razy większa niż w przypadku stali nierdzewnej. Jego stabilność chemiczna, zwłaszcza w wysokich temperaturach, nie ma sobie równych w żadnym innym materiale konstrukcyjnym.

3. Dobra stabilność termiczna. Kwarc o wysokiej czystości ma wyjątkowo niski współczynnik rozszerzalności cieplnej i może wytrzymać drastyczne zmiany temperatury. Podgrzanie kwarcu o wysokiej czystości do około 1100 ℃, a następnie zanurzenie go w wodzie o temperaturze pokojowej nie spowoduje jego rozbicia.

4. Dobra wydajność transmisji światła. Kwarc o wysokiej czystości ma dobrą transmisję światła w całym spektrum, od ultrafioletu po podczerwień. Przepuszczalność światła widzialnego przekracza 93%, a w widmie ultrafioletowym maksymalna przepuszczalność może osiągnąć ponad 80%.

5. Dobra wydajność izolacji elektrycznej. Rezystywność kwarcu o wysokiej czystości jest dziesięć tysięcy razy większa niż w przypadku zwykłego szkła kwarcowego, co czyni go doskonałym materiałem do izolacji elektrycznej, posiadającym dobre właściwości elektryczne nawet w wysokich temperaturach.