Kwarcowe rurki dyfuzyjne klasy półprzewodnikowej

Łódki kwarcowesą zwykle stosowane w wysokich temperaturach i trudnych warunkach pracy związanych z korozją chemiczną. Podczas operacji płytki półprzewodnikowe umieszcza się w łódce kwarcowej i wprowadza do kwarcowej rurki dyfuzyjnej. Gdy rura dyfuzyjna osiągnie wymaganą temperaturę (kilkaset do kilku tysięcy stopni Celsjusza), gazy procesowe (np. O₂, N₂, H₂, Ar) i gazy domieszkowe (np. POCl₃, BBr₃) wprowadzane są do kwarcowej rurki dyfuzyjnej przez porty gazowe w celu przeprowadzenia utleniania, dyfuzji i wyżarzania płytek półprzewodnikowych. Dodatkowo, aby poprawić równomierność i dokładność dyfuzji, niektóre procesy dyfuzji należy przeprowadzać w środowisku o niskim ciśnieniu. 

W zaawansowanych procesach produkcji półprzewodników każdy drobny błąd lub niedociągnięcie w tych procesach może prowadzić do niepowodzenia kolejnych procesów. Dlatego jakość kwarcowych rur dyfuzyjnych, jako kluczowych elementów produkcji półprzewodników, jest znacząco ważna i bezpośrednio wpływa na wydajność i wydajność urządzeń półprzewodnikowych.

Specyfikacje Semicorexu Kwarc półprzewodnikowy

Kwarcowe lampy dyfuzyjne Semicorex są starannie produkowane z wysokiej jakościkwarc półprzewodnikowytworzywo. Poniżej znajdują się jego specyficzne parametry:

Parametry można dostosować do wymagań klienta.

Wydajność kwarcowych lamp dyfuzyjnych Semicorex klasy półprzewodnikowej

Opierając się na naszej doświadczonej technologii przetwarzania i niezawodnym doborze materiałów, gatunek półprzewodników Semicorexkwarcowe rurki dyfuzyjnewykazać się doskonałą wydajnością w trudnych warunkach pracy:

1. Odporność na wysoką temperaturę

Kwarcowe lampy dyfuzyjne półprzewodnikowe Semicorex zapewniają niezwykłą odporność na wysokie temperatury, co umożliwia im stabilną pracę w środowiskach o wysokiej temperaturze do 1200 ℃ bez żadnych deformacji i uszkodzeń.

2. Stabilność termiczna

Dzięki wyjątkowemu współczynnikowi rozszerzalności cieplnej kwarcowe lampy dyfuzyjne Semicorex są w stanie wytrzymać naprężenia termiczne podczas szybkiego nagrzewania lub chłodzenia, bez łatwego pękania i odkształcania.

3. Odporność chemiczna

Kwarcowe lampy dyfuzyjne Semicorex klasy półprzewodnikowej zapewniają doskonałą obojętność chemiczną w wysokich temperaturach i trudnych środowiskach korozyjnych. Ta wydajność znacznie zapobiega wpływowi zanieczyszczeń powstających w wyniku reakcji z gazami procesowymi na jakość płytek.