Półprzewodnikowy grzejnik grafitowy Semicorex to wysokowydajne urządzenie grzewcze wykonane z wysokiej jakości grafitu izostatycznego. Jest szeroko stosowany w podstawowych ogniwach procesów produkcji półprzewodników, takich jak pole termiczne pieców do wzrostu kryształów, procesy wzrostu epitaksjalnego, sprzęt do implantacji jonów, sprzęt do trawienia plazmowego oraz produkcja form do spiekania urządzeń półprzewodnikowych.
Półprzewodnikgrzejnik grafitowyto zaawansowane urządzenie grzewcze wykonane z izostatycznego materiału grafitowego o wysokiej czystości. Jego doskonała przewodność elektryczna i przewodność cieplna zapewnia precyzyjną kontrolę temperatury i równomierny rozkład ciepła podczas wzrostu i przetwarzania materiałów półprzewodnikowych. Gdy prąd elektryczny przepływa przez grzejnik, pokonuje on wewnętrzny opór elektryczny grafitu, przekształcając energię elektryczną w ciepło, podnosząc temperaturę grafitu i uzyskując ogrzewanie. Precyzyjną kontrolę temperatury można zwykle osiągnąć poprzez regulację natężenia prądu elektrycznego i rezystancji grzejnika.
Semicorex to starannie wyselekcjonowany produkt o wysokiej czystościgrafit izostatycznywykazuje doskonałą przewodność cieplną, dzięki czemu szybko i równomiernie przekazuje ciepło do każdego zakątka strefy grzewczej, skutecznie zapobiegając miejscowemu przegrzaniu.
Warto zauważyć, że nawet pod wpływem ekstremalnie wysokich temperatur, takich jak ablacja łukiem w bardzo wysokiej temperaturze, grafit izostatyczny o wysokiej czystości zachowuje stabilne właściwości fizyczne i chemiczne. Intensywne ciepło zwykle powoduje topienie, odkształcanie lub utlenianie materiałów, ale ten rodzaj grafitu jest w stanie oprzeć się tym zmianom. Dzięki temu doskonale nadaje się do procesów wysokotemperaturowych w produkcji półprzewodników, w tym do wyciągania monokryształów krzemu i wzrostu kryształów węglika krzemu.
Półprzewodnikowy grzejnik grafitowy charakteryzuje się energooszczędnością. Nie wymaga wstępnego podgrzewania, szybko osiąga zadaną temperaturę i osiąga wyraźną oszczędność energii w porównaniu do tradycyjnych grzejników. Jego wysoka sprawność konwersji cieplnej skutecznie zmniejsza zużycie energii, realizując oszczędność energii i redukcję zużycia. Podczas pracy nie wytwarza zanieczyszczeń ani gazów spalinowych, spełniając wymogi ochrony środowiska.
to zaawansowane urządzenie grzewcze wykonane z izostatycznego materiału grafitowego o wysokiej czystości. Jego doskonała przewodność elektryczna i przewodność cieplna zapewnia precyzyjną kontrolę temperatury i równomierny rozkład ciepła podczas wzrostu i przetwarzania materiałów półprzewodnikowych. Gdy prąd elektryczny przepływa przez grzejnik, pokonuje on wewnętrzny opór elektryczny grafitu, przekształcając energię elektryczną w ciepło, podnosząc temperaturę grafitu i uzyskując ogrzewanie. Precyzyjną kontrolę temperatury można zwykle osiągnąć poprzez regulację natężenia prądu elektrycznego i rezystancji grzejnika.