Crucible kwarcowe półprzewodnikowe

Krzyżowe kwarcowe półprzewodniki półprzewodnikowe są produktami konsumpcyjnymi w przemyśle półprzewodnikowym specjalnie dla kwarcowych krzyżowców stosowanych w procesie ciągnięcia kryształów z pojedynczych kryształów. Są one produkowane z bardzo silnego kwarcu, który zaspokaja czystość, jednorodność i odporność na ciepło i są produkowane w celu zaspokojenia wysokich wymagań nowoczesnej produkcji półprzewodników. Są one niezbędne dla specyfikacji krzemowej wlewki, ponieważ ich atrybuty bezpośrednio wpływają na wydajność i wydajność opłat w zintegrowanym obwodzie.

Z termicznego i fizycznego punktu widzenia: Krzyże kwarcowe mogą bardzo dobrze wytrzymać ciepło. Punkt odkształcenia wynosi około 1100 ° C, punkt zmiękczania wynosi około 1730 ° C, a maksymalna temperatura usługi ciągłej wynosi 1100 ° C, [ekspozycja krótkoterminowa do 1450 ° C]. Właściwości te pozwalają na użyteczność w wysokich temperaturach, zapewniając jednocześnie wysoką czystość i odporność cieplną, a zatem promują stabilność podczas procesów ciągnięcia kryształu czochralskiego (CZ), w których należy zminimalizować zanieczyszczenie i deformowanie, a dokładne profile termiczne są najważniejsze dla uzyskania homogenicznego wzrostu kryształu.

Z strukturalnego perspektywy półprzewodnikowe tygły kwarcowe składają się z warstwowej konstrukcji kompozytowej zaprojektowanej do właściwości termicznych i wytrzymałości mechanicznej. Początkowa (poruszająca się do wewnątrz) warstwa jest przezroczystą warstwą kwarcu, która ogólnie jest jedna trzecia grubości ściany (około 3–5 mm) i ma stosunkowo niską zawartość pęcherzyków (w zależności od techniki przetwarzania), a zatem powierzchnia gładkiej wolnej od deflektu będzie miała kontakt ze stopioną powierzchnią kwartu silikonowego (to przyczynia się do kontrolowania kontaktu i zapewniają stabilne warunki wzrostu).

Na zewnątrz jest warstwowy z większym poziomem bąbelków przyczyniających się do siły deformacji tygla, wyższej odporności na naprężenie termiczne i izolację termiczną ze źródła ciepła dla jednolitości promieniowania. Warstwy tygla pozwalają na utrzymanie formy i integralności, pomimo różnicowych gradientów termicznych, które istnieją w procesie ciągnięcia kryształów.

Współczesne tygle kwarcowe rozwinęły się dalsze niż tradycyjna dwuparowcowa struktura ze względu na postęp w technologii produkcyjnej. Wiele krzyżowców stosuje trójwarstwową strukturę-przezroczystą warstwę wewnętrzną, przezroczystą warstwę środkową, która ma pęcherzyki rozproszone przez kwarc i zewnętrzną cienką warstwę bąbnego kwarcu. Trójwarstwowe struktury oferują lepszą wytrzymałość mechaniczną, zarządzanie termicznie i korzyści kosztów oraz poprawiają charakterystykę wymiany ciepła. Ponadto niektóre tygle stosują powłoki jonów metali alkalicznych (np. Roztwory jonów barowych) na najgłośniejszej powierzchni lub używają syntetycznego kwarcu o wysokiej czystości w określonych warstwach, aby zmniejszyć zawartość tlenu, wyczerpanie czystości i poprawić ogólną jakość wyciągniętych pojedynczych kryształów.

Produkcja kwarcowa tygły dla półprzewodników ma być utrzymywane w celu ścisłej tolerancji kontroli jakości w potrzebnych czystości, czyli zwykle kilka części na miliard metalicznych zanieczyszczeń. Surowce są starannie wybierane i oczyszczane w celu usunięcia wszelkich zanieczyszczeń. Są one tworzone do zgrubnych wymiarów, z odpowiednim obróbką termiczną, a powierzchnia wykończona w celu rozwiązania dokładności wymiarowej, siły mechanicznej i czystości. Proces ten jest ukierunkowany na zapewnienie, że tygle pozostaną niezawodne, jednocześnie poddawane przedłużającej się ekspozycji w wysokiej temperaturze w trudnych środowiskach chemicznych.

Wydajność tygla kwarcowego w produkcji półprzewodników wpływa na jednolitość silikonowej sieci kryształowej, gęstość defektu i tlen w wlewkach. Wysokie czystości i tygle kwarcowe wolne od defektów ograniczą zwichnięcie defektów kryształowych, zwiększą szybkość wydajności i ustanowią zdolność generowania płytek do rozwijania geometrii urządzeń. Jeśli jesteś producentem ICS-performance HGH, silikonu klasy fotowoltaicznej lub elektroniki energetycznej, wybieranie i używanie kwarcowych tygli wysokiej jakości jest kluczowym elementem ustanawiania i optymalizacji kosztów.

SemicorexKwarc półprzewodnikowyKrzyty są niezbędnym materiałem pomocniczym dla każdego silikonowego systemu ciągnięcia kryształów. Unikalne atrybuty czystości, stabilności w wysokiej temperaturze i zastrzeżonych struktur wielowarstwowych sprawiają, że jest to odpowiedni materiał do wspierania rygorów procesu ciągnięcia CZ, zapewniając jednocześnie spójną i powtarzalną wydajność. Ponieważ produkcja półprzewodnikowa zmierza w kierunku wyższej integracji i ściślejniejszych tolerancji, znaczące zależne od wartości precyzyjnej inżynierii kwarcowych kluczowe powodują większe znaczenie dla umożliwienia i opracowywania technologii elektronicznych nowej generacji.