Ceramiczna łódka waflowa SiC

Semicorex SiC Ceramic Wafer Boat wyróżnia się unikalnym połączeniem właściwości materiału, które sprawiają, że idealnie nadaje się do rygorystycznych warunków produkcji półprzewodników i fotowoltaiki:

Niezachwiana stabilność w wysokiej temperaturze:Obróbka płytek często wiąże się z ekstremalnymi temperaturami, które przekraczają granice możliwości konwencjonalnych materiałów. Ceramiczna łódka waflowa SiC wykazuje wyjątkową odporność na wysokie temperatury, zachowując integralność strukturalną i właściwości mechaniczne nawet w temperaturach przekraczających 1650°C (3000°F). Umożliwia to ich zastosowanie w krytycznych procesach, takich jak dyfuzja i wyżarzanie, gdzie najważniejsza jest precyzyjna kontrola temperatury i stabilność płytki.

Nie do zdobycia twierdza przeciw korozji:Agresywne chemikalia i agresywne substancje stosowane w produkcji półprzewodników i fotowoltaiki stanowią poważne wyzwanie dla integralności materiałów. Ceramiczna łódka waflowa SiC wykazuje doskonałą odporność na korozję w porównaniu z większością metali i innych materiałów ceramicznych, wytrzymując długotrwałe narażenie na szeroką gamę kwasów, rozpuszczalników, soli i związków organicznych. Ta obojętność zapewnia trwałość łodzi, zapobiega zanieczyszczeniu spowodowanemu degradacją materiału i chroni czystość krytycznych etapów procesu.

Czystość bez wysiłku zapewniająca bezkompromisową czystość:Utrzymanie nieskazitelnych powierzchni płytek ma kluczowe znaczenie dla osiągnięcia wysokiej wydajności i wydajności urządzenia. Nieporowata powierzchnia łódki ceramicznej SiC i jej odporność na działanie substancji chemicznych sprawiają, że jest ona wyjątkowo łatwa w czyszczeniu. Zanieczyszczenia są łatwo usuwane, co zapobiega zanieczyszczeniom krzyżowym pomiędzy przebiegami procesów i zapewnia nieskazitelne środowisko wymagane dla wysokowydajnych urządzeń półprzewodnikowych i fotowoltaicznych.

Odporność na naprężenia termiczne i mechaniczne:Obróbka płytek często wiąże się z szybkimi zmianami temperatury i obsługą mechaniczną, która może powodować naprężenia i uszkodzenia podatnych materiałów. Solidne właściwości mechaniczne łodzi waflowej SiC, w tym wysoka twardość i wyjątkowa odporność na szok termiczny, zapewniają jej integralność strukturalną nawet w wymagających warunkach. Minimalizuje to ryzyko wytwarzania cząstek lub uszkodzenia płytek, przyczyniając się do wyższych wydajności i stałej jakości produktu.

Transport bez poślizgu zapewniający niezachwianą precyzję:Precyzyjne obchodzenie się z płytkami ma kluczowe znaczenie dla zapobiegania uszkodzeniom i zapewnienia spójnego przetwarzania. Właściwa smarowność i niski współczynnik tarcia łodzi waflowej SiC Ceramic sprawiają, że powierzchnia jest naturalnie antypoślizgowa. Pozwala to na płynny, kontrolowany ruch płytki podczas załadunku i rozładunku, minimalizując ryzyko zarysowania, odprysków lub innych uszkodzeń, które mogłyby zagrozić integralności płytki.