Tygle grafitowe pokryte SiC

Zainstalowany w środku wysokotemperaturowych pieców do wzrostu kryształów,Pokryty SiCtygle grafitowe współpracują z grzejnikami, tulejami termoizolacyjnymi, rurkami prowadzącymi przepływ i trzonami tygli, tworząc kompletny system pola cieplnego. Ten system pola termicznego może utrzymać stabilne środowisko o wysokiej temperaturze, niezbędne do wzrostu kryształów.

Produkcja powłok SiCtygle grafitowezwykle rozpoczyna się od zastosowania zaawansowanej technologii chemicznego osadzania z fazy gazowej w celu równomiernego osadzania gęstej masywęglik krzemupowłoka na powierzchni utworzonego podłoża grafitowego. Składa się z wysokiej czystościgrafitpodłożu i gęstej powłoce z węglika krzemu, tygiel grafitowy pokryty SiC tworzy synergistyczną strukturę, która łączy przewodność cieplną grafitu z odpornością na korozję węglika krzemu.

Metoda Czochralskiego jest uniwersalną przemysłową techniką wzrostu kryształów. Technika ta będzie wywierać siłę odśrodkową na tygiel podczas produkcji kryształów. Doskonała wytrzymałość na zginanie i wytrzymałość tygli grafitowych pokrytych SiC mogą zapobiegać pękaniu lub pękaniu podczas obracania się z dużą prędkością, skutecznie ograniczając przerwy w produkcji spowodowane uszkodzeniem tygla. Ponadto podczas tego procesu tygle muszą być poddawane drastycznym wahaniom temperatury w krótkim czasie. Tygle grafitowe pokryte SiC, dzięki swojej niezwykłej odporności na szok termiczny, mogą redukować uszkodzenia strukturalne związane z naprężeniami termicznymi, zapewniać stabilność ich kształtu, zmniejszając w ten sposób defekty wzrostu kryształów spowodowane deformacją tygla.

W wysokich temperaturach tygle grafitowe pokryte SiC utworzą gęstą warstwę ochronną z węglika krzemu. Ta warstwa ochronna może izolować podłoże grafitowe od par krzemu i stopionego krzemu, minimalizując w ten sposób ryzyko korozji podłoża grafitowego i zanieczyszczenia kryształami związane z łuszczeniem się powłoki. Dlatego tygle grafitowe Semicorex pokryte SiC mogą wytrzymać różne złożone środowiska korozji w wysokiej temperaturze przez dłuższy czas w rzeczywistej pracy. Zapewnia to spójny skład kryształów i zmniejsza liczbę defektów, które są niezbędne do produkcji wysokiej jakości kryształów półprzewodników.