Filament grzewczy SiC

Semicorex SiC Heating Filament, wysokopróżniowy element grzejny opracowany do przetwarzania płytek w nowej produkcji półprzewodników, to innowacyjny element grzejny zaprojektowany zrdzeń grafitowyi wysoką czystośćpowłoka z węglika krzemu. Specjalny włókno wykorzystuje przewodność cieplną grafitu oraz trwałość i ochronę SiC, co skutkuje stabilnym i energooszczędnym grzejnikiem w czasie. Włókno grzewcze SiC zostało zaprojektowane do równomiernego podgrzewania płytek i osiągania określonych specyfikacji, co czyni go doskonałym komponentem do wysokotemperaturowej obróbki półprzewodników, takiej jak epitaksja, dyfuzja i wyżarzanie.

Włókno grzewcze SiC jest wykonane z grafitu o wysokiej czystości ze względu na właściwości termiczne grafitu i wysokiej jakości właściwości elektryczne. Grafit zapewnia główną funkcję grzania, umożliwiając szybką reakcję i wydajne ogrzewanie pod obciążeniem elektrycznym. Gęsta powłoka SiC o wysokiej czystości chroni żarnik przed możliwymi źródłami zanieczyszczeń. Powłoka SiC chroni płytkę przed zanieczyszczeniami chemicznymi i utlenianiem, a także cząsteczkami w komorze, wydłuża żywotność żarnika i tworzy czyste środowisko w komorze.

Kluczową cechą włókna grzejnego SiC jest zdolność do zapewnienia równomiernego ogrzewania płytki. Wahania temperatury na płytce mogą prowadzić do defektów lub utraty wydajności. Włókno grzewcze SiC ma doskonałą przewodność cieplną, a solidna konstrukcja włókna zapewnia stabilność i bardziej równomierne ciepło, ograniczając gradienty termiczne w celu absolutnej kontroli procesu.

Włókno grzewcze SiC można dostosować, a wartość rezystancji elektrycznej każdego włókna można dostosować do narzędzia procesowego i środowiska operacyjnego. To dostosowanie pozwala technologii węglika krzemu kontrolować wartość rezystancji geometrii włókna, grubości powłoki i właściwości materiału. Filament grzewczy SiC można dopasować do wielu różnych konstrukcji pieców z wieloma różnymi rozmiarami płytek i recepturami procesu. Jest to szczególnie korzystne dla producentów półprzewodników, ponieważ umożliwia wydajniejsze działanie bieżących procesów i zachowanie kompatybilności z już istniejącymi systemami.  Trzecią cechą wydajności jest trwałość. W wysokotemperaturowych procesach półprzewodnikowych element grzejny jest narażony na bardzo agresywne środowisko chemiczne i powtarzające się cykle termiczne.

Zastosowania Semicorex SiC Heating Filament obejmują szeroką gamę procesów wytwarzania urządzeń półprzewodnikowych. Na przykład podczas wzrostu epitaksjalnego element grzejny zapewnia stabilną i jednolitą temperaturę podłoża do osadzania wysokiej jakości filmów krystalicznych.