Powłoka SiC to cienka warstwa na susceptorze w procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Materiał z węglika krzemu ma wiele zalet w porównaniu z krzemem, w tym 10-krotnie większe natężenie pola elektrycznego przebicia, 3-krotnie większe pasmo wzbronione, co zapewnia materiałowi wysoką temperaturę i odporność chemiczną, doskonałą odporność na zużycie oraz przewodność cieplną.
Semicorex zapewnia usługi dostosowane do indywidualnych potrzeb, pomaga wprowadzać innowacje w zakresie komponentów, które wytrzymają dłużej, skracają czasy cykli i poprawiają wydajność.
Powłoka SiC ma kilka unikalnych zalet
Odporność na wysoką temperaturę: Susceptor pokryty CVD SiC może wytrzymać wysokie temperatury do 1600°C bez znaczącej degradacji termicznej.
Odporność chemiczna: Powłoka z węglika krzemu zapewnia doskonałą odporność na szeroką gamę substancji chemicznych, w tym kwasy, zasady i rozpuszczalniki organiczne.
Odporność na zużycie: Powłoka SiC zapewnia materiałowi doskonałą odporność na zużycie, dzięki czemu nadaje się do zastosowań wymagających dużego zużycia.
Przewodność cieplna: Powłoka CVD SiC zapewnia materiałowi wysoką przewodność cieplną, dzięki czemu nadaje się do stosowania w zastosowaniach wysokotemperaturowych, które wymagają wydajnego przenoszenia ciepła.
Wysoka wytrzymałość i sztywność: Susceptor pokryty węglikiem krzemu zapewnia materiałowi dużą wytrzymałość i sztywność, dzięki czemu nadaje się do zastosowań wymagających dużej wytrzymałości mechanicznej.
Powłoka SiC jest stosowana w różnych zastosowaniach
Produkcja diod LED: Susceptor pokryty CVD SiC jest stosowany w produkcji różnych typów diod LED, w tym diod LED niebieskich i zielonych, diod LED UV i diod LED głębokiego UV, ze względu na wysoką przewodność cieplną i odporność chemiczną.
Komunikacja mobilna: Susceptor pokryty CVD SiC jest kluczową częścią HEMT niezbędną do zakończenia procesu epitaksjalnego GaN-na-SiC.
Obróbka półprzewodników: Susceptor pokryty CVD SiC jest stosowany w przemyśle półprzewodników do różnych zastosowań, w tym do przetwarzania płytek i wzrostu epitaksjalnego.
Elementy grafitowe pokryte SiC
Powłoka wykonana z grafitu z powłoką z węglika krzemu (SiC) jest nakładana metodą CVD na określone gatunki grafitu o dużej gęstości, dzięki czemu może pracować w piecu wysokotemperaturowym o temperaturze ponad 3000°C w atmosferze obojętnej i 2200°C w próżni .
Specjalne właściwości i niewielka masa materiału umożliwiają szybkie nagrzewanie, równomierny rozkład temperatury i wyjątkową precyzję sterowania.
Dane materiałowe powłoki Semicorex SiC
Typowe właściwości |
Jednostki |
Wartości |
Struktura |
|
Faza β FCC |
Orientacja |
Frakcja (%) |
Preferowane 111 |
Gęstość nasypowa |
g/cm3 |
3.21 |
Twardość |
Twardość Vickersa |
2500 |
Pojemność cieplna |
J kg-1 K-1 |
640 |
Rozszerzalność cieplna 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Moduł Younga |
Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃) |
430 |
Rozmiar ziarna |
µm |
2 ~ 10 |
Temperatura sublimacji |
℃ |
2700 |
Siła Felexuralna |
MPa (RT 4-punktowy) |
415 |
Przewodność cieplna |
(W/mK) |
300 |
Wnioski Susceptor pokryty CVD SiC jest materiałem kompozytowym łączącym w sobie właściwości susceptora i węglika krzemu. Materiał ten posiada unikalne właściwości, w tym odporność na wysoką temperaturę i chemikalia, doskonałą odporność na zużycie, wysoką przewodność cieplną oraz wysoką wytrzymałość i sztywność. Te właściwości sprawiają, że jest to atrakcyjny materiał do różnych zastosowań wysokotemperaturowych, w tym do obróbki półprzewodników, obróbki chemicznej, obróbki cieplnej, produkcji ogniw słonecznych i produkcji diod LED.
Dysk Semicorex Susceptor Disc to niezastąpione narzędzie do chemicznego osadzania z fazy gazowej metali organicznych (MOCVD), zaprojektowane specjalnie do podtrzymywania i podgrzewania płytek półprzewodnikowych podczas krytycznego procesu osadzania warstwy epitaksjalnej. Dysk Susceptor odgrywa kluczową rolę w produkcji urządzeń półprzewodnikowych, gdzie najważniejsza jest precyzja wzrostu warstwy. Zaangażowanie firmy Semicorex w wiodącą na rynku jakość w połączeniu z konkurencyjnymi względami fiskalnymi cementuje naszą chęć nawiązania partnerstwa w celu spełnienia wymagań dotyczących transportu płytek półprzewodnikowych.
Czytaj więcejWyślij zapytanieEpitaksjalna płyta z monokrystalicznego krzemu zapewnia szczyt wyrafinowania, trwałości i niezawodności w zastosowaniach związanych z epitaksją grafitową i manipulacją płytkami. Wyróżnia się gęstością, płaskością i możliwościami zarządzania temperaturą, co pozycjonuje go jako optymalny wybór dla rygorystycznych warunków operacyjnych. Zaangażowanie firmy Semicorex w wiodącą na rynku jakość w połączeniu z konkurencyjnymi względami fiskalnymi cementuje naszą chęć nawiązania partnerstwa w celu spełnienia wymagań dotyczących transportu płytek półprzewodnikowych.
Czytaj więcejWyślij zapytanieMonokrystaliczny krzemowy episusceptor to istotny komponent przeznaczony do procesów epitaksji Si-GaN, który można dostosować do zindywidualizowanych specyfikacji i preferencji, zapewniając indywidualne rozwiązanie, które idealnie dopasowuje się do konkretnych wymagań. Niezależnie od tego, czy wiąże się to z modyfikacjami wymiarów, czy dostosowaniem grubości powłoki, posiadamy możliwość zaprojektowania i dostarczenia produktu, który dostosowuje się do różnych parametrów procesu, optymalizując w ten sposób wydajność dla docelowych zastosowań. Zaangażowanie firmy Semicorex w wiodącą na rynku jakość w połączeniu z konkurencyjnymi względami fiskalnymi cementuje naszą chęć nawiązania partnerstwa w celu spełnienia wymagań dotyczących transportu płytek półprzewodnikowych.
Czytaj więcejWyślij zapytanieWykonany z precyzją i zaprojektowany z myślą o niezawodności, susceptor epitaksyjny SiC charakteryzuje się wysoką odpornością na korozję, wysoką przewodnością cieplną, odpornością na szok termiczny i wysoką stabilnością chemiczną, dzięki czemu może skutecznie funkcjonować w atmosferze epitaksjalnej. Dlatego też susceptor epitaksyjny SiC jest uważany za rdzeń i kluczowy element sprzętu MOCVD. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieUchwyt do łodzi Semicorex z węglika krzemu to specjalistyczny produkt wykonany z materiału SiC, starannie zaprojektowany do zastosowań w takich gałęziach przemysłu, jak fotowoltaika, elektronika i półprzewodniki. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex Solar Graphite Boat, precyzyjnie zaprojektowany uchwyt na płytki, zaprojektowany tak, aby spełniać rygorystyczne wymagania przetwarzania półprzewodników w wysokiej temperaturze. Ta innowacyjna łódź, wykonana z najwyższej jakości grafitu, oferuje niezrównaną stabilność termiczną i trwałość, zapewniając optymalną wydajność nawet w najbardziej wymagających środowiskach piecowych. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanie