Komponenty pokryte TaC we wzroście epitaksjalnym

Komponenty powlekane Semicorex TaC we wzroście epitaksjalnym to cenna obrobiona część znajdująca się we wlocie powietrza w procesie epitaksjalnym w półprzewodniku. Semicorex to najwyższej klasy firma specjalizująca się w technologii powlekania CVD TaC w Chinach i eksportująca produkty na cały świat.*

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Elementy pokryte Semicorex TaC we wzroście epitaksjalnym to prostokątna część w kształcie rurki, część ta odpowiada głównie za postęp wlotu powietrza do pieca CVD. Jest to zatem niezbędny element, a w surowych warunkach panuje wysoka temperatura, a także występują gazy korozyjne. To wyjaśnia powód, dla którego wybieramy grafit pokryty TaC.

ZaletyPowłoka z węglika tantalu (TaC).

Powłoki z węglika tantalu (TaC) są wymagane w przypadku niektórych najważniejszych części układów wlotu powietrza zaprojektowanych do pracy w trudnych warunkach, takich jak te panujące w piecu do chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Wysoka temperatura i narażenie na korozyjne gazy występujące w piecu CVD stwarzają bardzo wymagające środowisko pracy. Dzięki potencjałowi zapewnienia doskonałej obojętności chemicznej oraz odporności na korozję i degradację, zastosowanie powłok TaC na elementach pokrytych TaC wlotu powietrza podczas wzrostu epitaksjalnego znacznie zmniejszy ryzyko tworzenia wadliwych cząstek, przedłużając w ten sposób żywotność elementu i zapewniając najwyższą wydajność i jakość zebranych filmów nabłonkowych.

Doskonałość technologii powlekania

Do produkcji Semicorex wykorzystuje zaawansowaną technologię CVDElementy pokryte TaC we wzroście epitaksjalnymaby sprostać najbardziej wymagającym standardom branżowym zarówno pod względem wydajności, jak i jakości. Precyzja, z jaką Semicorex wytwarza powłoki TaC, widoczna jest w wysokiej jakości wytwarzanych powłok.

Funkcja	Przewaga Semicorexu	Wpływ na Klienta
Doskonała przyczepność	Zoptymalizowany proces osadzania tworzy silne, jednolite wiązanie chemiczne pomiędzy warstwą TaC a podłożem grafitowym.	Brak rozwarstwiania i łuszczenia się pod wpływem cykli termicznych, co zapewnia długoterminową niezawodność.
Jednolitość powierzchni	Precyzyjna kontrola grubości i jednorodności powłoki na wszystkich wewnętrznych i zewnętrznych powierzchniach rury prostokątnej.	Stała dynamika przepływu i wydajność cieplna, niezbędne dla powtarzalnego poboru powietrza.
Wysoka czystość powłoki	Używamy prekursorów o wysokiej czystości i skrupulatnego procesu, aby uzyskać wyjątkowo czystą warstwę TaC.	Zminimalizowane zanieczyszczenie metalami śladowymi i zanieczyszczeniami, które mogą mieć wpływ na jakość wyhodowanej folii epitaksjalnej.

Zoptymalizowany wybór podłoża

Wydajność powlekanej części jest zasadniczo powiązana z jakością podłoża. Wybór najodpowiedniejszego grafitowego materiału bazowego do rur prostokątnych Semicorex pokrytych TaC jest starannie dokonywany przez nasz zespół inżynierów, kierując się szeregiem ważnych kryteriów, które są następujące:

Gatunek grafitu wybieramy na podstawie jego właściwości fizycznych, aby uzyskać najsilniejsze połączenie pomiędzy powłoką TaC a podłożem grafitowym. Zapewnia to maksymalną przyczepność powłoki TaC do grafitowego podłoża.

Grafit używany do produkcji naszych prostokątnych rur pokrytych TaC musi mieć wyjątkowo wysoką czystość, aby zminimalizować możliwość odgazowania i zanieczyszczenia podczas naszego wysokotemperaturowego procesu CVD.

Nasze rygorystyczne procesy zaopatrzenia i kontroli jakości zapewniają, że każda partia podłoża grafitowego, którego używamy, ma te same właściwości materiałowe. Dzięki temu możemy za każdym razem produkować prostokątną rurę pokrytą TaC o tych samych właściwościach użytkowych.

Sprawdzona niezawodność i partnerstwo

Nasze komponenty pokryte TaC we wzroście epitaksjalnym zostały szeroko przetestowane i zatwierdzone przez wielu największych i najbardziej szanowanych producentów w branży półprzewodników. Producenci ci uznali produkty Semicorex za niezawodne standardy do stosowania w krytycznych zastosowaniach wzrostu epitaksjalnego.

Zdajemy sobie sprawę, że dostawa komponentów jest znaczącym elementem procesu produkcyjnego. Właśnie dlatego Semicorex zobowiązał się być długoterminowym partnerem, dostarczając wysokiej jakości i niezawodne dostawy produktów oraz wyróżniając się w zapewnianiu logistyki i wsparcia posprzedażnego, aby Twoja firma działała sprawnie i nieprzerwanie.