Płytka planetarna pokryta TaC

Płyta planetarna pokryta Semicorex TaC służy jako kluczowy element reaktorów MOCVD, charakteryzując się konstrukcją planetarną charakteryzującą się licznymi kieszeniami na płytki rozmieszczone wzdłuż jej powierzchni. Kieszenie te zostały specjalnie stworzone, aby niezawodnie pomieścić płytki podczas fazy wzrostu dowolnej warstwy epitaksjalnej, stabilizując płytki podłoża i minimalizując ruch podłoża w podwyższonych temperaturach procesu. Dokładna geometria kieszeni zapewnia spójne rozmieszczenie płytek, co jest ważne dla jednakowej grubości warstw epitaksjalnych i jednorodności poziomu defektów podłoża dla wszystkich płytek wyhodowanych w tym samym procesie.

Po raz kolejny ważnym aspektem konstrukcyjnym płyty planetarnej jest zaprojektowane rozproszenie drobnych otworów przepływu gazu wzdłuż powierzchni płyty. Otwory te są starannie zaprojektowane i strategicznie rozmieszczone, specjalnie do pomiaru przepływu gazów prekursorowych w reaktorze, dzięki czemu uzyskuje się równomierne rozproszenie gazu i równomierne osadzanie się pomiędzy każdą płytką. W każdym procesie MOCVD aspekty dynamiki gazu mają kluczowe znaczenie przy określaniu jakości folii, jednorodności grubości i ogólnej wydajności urządzenia. Zoptymalizowany projekt otworu naPowłoka TaCPłytka planetarna zapewnia, że ​​wszystkie płytki podlegają tym samym warunkom procesu, co zapewnia optymalny sposób poprawy wydajności i powtarzalności.

ThePowłoka TaC (węglik tantalu).dodatkowo wydłuża wydajność i żywotność płyty planetarnej. Węglik tantalu jest niezwykle twardy, chemicznie obojętny i przewodzi ciepło, co czyni go doskonałą powłoką do ekstremalnych środowisk MOCVD. Podczas epitaksji elementy reaktora będą narażone na wysokie temperatury, reaktywne gazy prekursorowe i ekspozycję na plazmę. Powłoka TaC stanowi solidną barierę chroniącą przed korozją, utlenianiem i wytwarzaniem cząstek, co skutkuje znacznym wydłużeniem żywotności płyty planetarnej w porównaniu z płytą niepowlekaną lub powlekaną konwencjonalnie.

Długowieczność i trwałość płytki planetarnej z powłoką TaC sprawiają, że jest to opłacalny wybór dla systemów MOCVD. Trwała warstwa TaC może wytrzymać powtarzające się cykle termiczne i narażenie na działanie ekstremalnych gazów procesowych, zachowując jednocześnie integralność strukturalną i stabilność wydajności podczas pracy przez dłuższy czas.