Rurka pokryta TaC

Siła Semicorex TaC Coated Tube leży w synergicznym połączeniu materiału podstawowego i specjalistycznej powłoki:

Podkład grafitowy izotropowy o wysokiej czystości:Rdzeń rury powlekanej TaC jest wykonany z grafitu izotropowego o ultrawysokiej czystości, znanego z doskonałej przewodności cieplnej, niskiej rozszerzalności cieplnej i naturalnej odporności na szok termiczny. Podstawa ta zapewnia solidną i stabilną platformę zdolną wytrzymać szybkie wahania temperatury i wysokie obciążenia termiczne charakterystyczne dla przetwarzania półprzewodników.

Węglik tantalu---Tarcza trwałości i bezwładności:Nałożona metodą CVD powłoka TaC przekształca grafitowe podłoże, nadając mu wyjątkową twardość, odporność na zużycie i obojętność chemiczną. Ta warstwa ochronna działa jak bariera przed agresywnymi gazami, plazmą i reaktywnymi substancjami napotykanymi podczas produkcji półprzewodników, zapewniając integralność strukturalną i trwałość rury.

To unikalne połączenie materiałów przekłada się na szereg zalet, które są krytyczne dla zaawansowanej produkcji półprzewodników:

Niezrównana odporność na temperaturę:TaC może poszczycić się jedną z najwyższych temperatur topnienia spośród wszystkich znanych materiałów, przewyższającą nawet węglik krzemu (SiC). Ta ekstremalna odporność temperaturowa pozwala na niezawodną pracę rurki powlekanej TaC w procesach wymagających temperatur przekraczających 2500°C, umożliwiając produkcję urządzeń półprzewodnikowych nowej generacji z wymagającymi budżetami termicznymi.

Ultrawysoka czystość dla krytycznej kontroli procesu:Utrzymanie nieskazitelnego środowiska procesowego ma ogromne znaczenie w produkcji półprzewodników. Zastosowanie grafitu o wysokiej czystości i skrupulatny proces powlekania CVD zapewniają minimalne odgazowanie lub wytwarzanie cząstek z rury powlekanej TaC, zapobiegając zanieczyszczeniu, które mogłoby zagrozić wrażliwym powierzchniom płytek i działaniu urządzenia.

Niezmienna odporność chemiczna:Chemiczna obojętność rurki pokrytej TaC zapewnia wyjątkową odporność na szeroką gamę gazów korozyjnych, reaktywnych jonów i środowisk plazmowych powszechnie stosowanych w procesach półprzewodników, takich jak trawienie, osadzanie i wyżarzanie. Ta solidna stabilność chemiczna przekłada się na dłuższą żywotność rurki, zmniejszone wymagania konserwacyjne i niższy całkowity koszt posiadania.

Zwiększona trwałość mechaniczna zapewniająca dłuższą żywotność:Silna siła wiązania pomiędzy powłoką TaC a podłożem grafitowym, w połączeniu z naturalną twardością rury powlekanej TaC, zapewnia wyjątkową odporność na zużycie, erozję i naprężenia mechaniczne. Ta zwiększona trwałość przekłada się na dłuższą żywotność i krótsze przestoje związane z wymianą, poprawiając wydajność procesu i przepustowość.