Półksiężyca powlekana półksiężycowa Semicorex to wysokowydajny komponent zaprojektowany do stosowania w procesach epitaksji SIC w piecach Epitaksy LPE. Wybierz Semicorex dla niezrównanej jakości, precyzyjnej inżynierii i zaangażowania w rozwijanie doskonałości produkcji półprzewodników.*
Półksiężyca powlekana półksiężycowa Semicorex jest komponentem precyzyjnym dostosowanym do procesów epitaksji SIC w piecach epitaksji LPE. Zaprojektowana z powłoką węglika Tantalu (TAC) o dużej czystości, ta część zapewnia wyjątkową stabilność termiczną i chemiczną, zapewniając optymalną wydajność w środowiskach o wysokiej temperaturze.
Półksiężycowe części powlekania półksiężycowe są wytwarzane w celu zaspokojenia rygorystycznych wymagań zaawansowanej produkcji półprzewodnikowej. Powłoka TAC zapewnia doskonałą odporność na korozję i utlenianie, rozszerzając długość życia komponentu i utrzymując spójną wydajność nad przedłużającymi się cyklami operacyjnymi. Jego półksiężycowa konstrukcja zwiększa jednolitość wzrostu warstwy epitaksjalnej, poprawiając jakość kryształów i niezawodność procesu.
Ceramika TAC ma temperaturę topnienia do 3880 ° C, wysoką twardość (twardość MOHS 9-10), duża przewodność cieplna (22 W · M-1 · K-1), duża wytrzymałość na zginanie (340-400 MPa) i mały współczynnik ekspansji termicznej (6,6 × 10-6K-1). Wykazują również doskonałą stabilność termochemiczną i doskonałe właściwości fizyczne oraz mają dobrą kompatybilność chemiczną i mechaniczną z kompozytami grafitowymi i C/C. Dlatego powłoki TAC są szeroko stosowane w ochronie termicznej lotniczej, wzrostu pojedynczego kryształu, elektronice energetycznej i urządzeniach medycznych.
Graphit powlekany TAC ma lepszą odporność na korozję chemiczną niż nagie grafit lub grafit powlekany SIC, może być stabilnie stosowany w wysokich temperaturach 2600 ° i nie reaguje z wieloma pierwiastkami metali. Jest to najlepsza powłoka w scenariuszy półprzewodników trzeciej generacji pojedynczych kryształów i trawienia wafla i może znacznie poprawić kontrolę temperatury i zanieczyszczeń w tym procesie oraz przygotowywać wysokiej jakości płytki węglików krzemu oraz powiązane z wafle epitaksyjnymi. Jest szczególnie odpowiedni do uprawy pojedynczych kryształów GAN lub ALN z sprzętem MOCVD i uprawy pojedynczych kryształów SIC z wyposażeniem PVT. Jakość dorosłych pojedynczych kryształów jest znacznie ulepszona.
Ten produkt jest idealnym rozwiązaniem dla producentów priorytetowych precyzji, wydajności i trwałości w procesach epitaxii. Trust SemiCorex dla roztworów o wysokiej wydajności mające na celu zaspokojenie ewoluujących potrzeb branży półprzewodnikowej.