Pierścienie prowadzące powlekane węglikiem tantalu

Pierścienie prowadzące są zwykle instalowane nad tyglem grafitowym w systemie pola termicznego. Współpracują z tyglem, grzejnikiem i cylindrem z izolacją termiczną oraz innymi elementami półprzewodnikowymi, aby kierować i kontrolować dystrybucję ciepła i gazów procesowych.

AzaletyTPowłoka z węglika antalu

Znany z doskonałej wydajnościPowłoka TaCw zastosowaniach wzrostu monokryształów półprzewodników trzeciej generacji powłoka z węglika tantalu oferuje następujące zalety:

1. Wyjątkowa stabilność termiczna

Węglik tantalu charakteryzuje się doskonałą odpornością termiczną i bardzo wysoką temperaturą topnienia 3880 ℃. Dzięki tej wyjątkowej stabilności termicznej pierścienie prowadzące pokryte węglikiem tantalu Semicorex mogą być stabilnie stosowane w środowiskach o wysokiej temperaturze poniżej 2500 ℃. Ponadto połączenie tych dwóch materiałów minimalizuje ryzyko pękania i łuszczenia się powłoki na skutek zmian temperatury, co w znaczący sposób zapewnia integralność strukturalną elementu podczas powtarzających się procesów ogrzewania i chłodzenia.

2. Niezwykła odporność na korozję

Węglik tantalu ma niezwykłą odporność na korozję i utlenianie oraz jest chemicznie obojętny w stosunku do większości reaktywnych gazów, takich jak amoniak, wodór i krzem. Dzięki tej stabilności chemicznej pierścienie prowadzące pokryte węglikiem tantalu Semicorex skutecznie zapobiegają erozji osnowy przez gazy reaktywne i uszkodzeniu jej integralności strukturalnej, jednocześnie unikając ryzyka zanieczyszczenia reagentami i zanieczyszczeniami przedostającymi się do struktury kryształu.

Działanie pierścieni prowadzących pokrytych węglikiem tantalu Semicorex

Półcorexpierścienie prowadzące pokryte węglikiem tantaluużyj grafitu o wysokiej czystości jako osnowy i osadź powłokę TaC na powierzchni za pomocą technologii CVD. Połączenie tych dwóch materiałów sprawia, że ​​pierścienie prowadzące pokryte węglikiem tantalu Semicorex zapewniają następujące korzyści:

1. Sterowanie przepływem gazu i optymalizacja pola przepływu

Podczas wzrostu kryształów zastosowanie pierścieni prowadzących pomaga zoptymalizować rozkład przepływu w polu termicznym i kieruje reaktywne gazy w kierunku kontrolowanego kierunku przepływu i równomiernego rozkładu. Dzięki specjalnej konstrukcji pierścienie prowadzące pokryte węglikiem tantalu Semicorex mogą prowadzić przepływ gazu i równomierną jego dystrybucję, co skutecznie pozwala uniknąć zbyt wysokich lub niskich lokalnych stężeń gazu.

2.Regulacja temperatury i optymalizacja pola cieplnego

Pierścienie prowadzące pokryte węglikiem tantalu Semicorex wykazują doskonałą przewodność cieplną, odgrywając kluczową rolę w regulacji rozkładu temperatury i zapewniając stabilne pole temperaturowe dla wzrostu kryształów. Na przykład pierścienie prowadzące pokryte węglikiem tantalu Semicorex mogą pomóc w utrzymaniu gradientu temperatury podczas wzrostu PVT kryształów węglika krzemu, zapewniając rozkład, transport i krystalizację materiałów w odpowiednich warunkach.