Część półksiężycowa z powłoką z węglika tantalu

Część Halfmoon z powłoką z węglika tantalu Semicorex jest wysoce wyspecjalizowanym komponentem przeznaczonym do stosowania w procesie osadzania epitaksjalnego. Ta część półksiężyca pokryta węglikiem tantalu ma kluczowe znaczenie w środowiskach, w których niezbędna jest odporność na wysokie temperatury, wyjątkowa trwałość i niezrównana obojętność chemiczna.

Część Halfmoon z powłoką z węglika tantalu jest zbudowana z węglika tantalu o wysokiej czystości, oferując doskonałą przewodność cieplną i ekstremalną odporność na wysokie temperatury i szok termiczny. Powłoka TaC zapewnia dodatkową warstwę ochrony przed korozyjnymi chemikaliami i trudnymi warunkami typowymi dla reaktorów epitaksjalnych. Powłoka zwiększa trwałość i żywotność części, zapewniając stałą wydajność przez wiele cykli.

Część Halfmoon z powłoką z węglika tantalu jest w stanie wytrzymać temperatury do 2200°C, dzięki czemu idealnie nadaje się do procesów wysokotemperaturowych. Wykazuje niską reaktywność z krzemem i innymi materiałami półprzewodnikowymi, zachowując integralność warstw epitaksjalnych.

Część półksiężycowa z węglika tantalu stosowana głównie w przemyśle półprzewodników, szczególnie przy epitaksjalnym wzroście węglika krzemu. Nadaje się do stosowania zarówno w reaktorach epitaksjalnych badawczych, jak i przemysłowych.