Kasety teflonowe

Kasety teflonowe półkoryczne są wysokowydajnymi przewoźnikami płytek specjalnie zaprojektowanymi do stosowania w wymagających środowiskach chemicznych, w których niezbędna jest czystość, odporność chemiczna i stabilność termiczna. Wykonane z politetrafluoroetylenu (PTFE) o dużej czystości, kasety te są szeroko stosowane w produkcji półprzewodników, wytrawieniu na mokro, czyszczeniu chemicznym i innych zastosowaniach, w których rutynowe jest narażenie na wysoce agresywne chemikalia. Ich niereaktywna natura sprawia, że idealnie nadają się do obsługi delikatnych substratów, takich jak wafle krzemowe, panele szklane i inne precyzyjne komponenty bez wprowadzania zanieczyszczenia lub cząstek cząstek w tym procesie.

W różnych procesach produkcji półprzewodników, takich jak litografia, trawienie i implantacja jonów, kasety odgrywają rolę w transporcie i przenoszeniu płytek między różnymi urządzeniami. Różne urządzenia procesowe mogą mieć różne wymagania dotyczące interfejsu dla kaset, aby zapewnić, że przewoźnicy płytki mogą być dokładne i umieszczone.

Z perspektywy materiału i designu, materiały odporne na ciepło, mają doskonałe właściwości mechaniczne, stabilność wymiarową i są trwałe, przeciwstatyczne, niskie outgassing, niskie opady i recykling są ogólnie stosowane. Różne rozmiary, węzły procesowe i procesy stosują różne materiały. Materiały ogólne to PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, COP itp.

Kasety teflonowe oferują doskonałą odporność chemiczną w środowiskach przy użyciu kwasu hydrofluorowego, kwasu azotowego, kwasu siarkowego i innych silnych korozji. W przeciwieństwie do konwencjonalnych materiałów, takich jak polipropylen lub stal nierdzewna, PTFE nie degraduje; nie puchnie; nie wyprawia substancji w trudnych kąpielach chemicznych. Wydajność jest zatem gwarantowana przez długie okresy, a zatem niezawodność kaset dla wysokoprzepustowych linii produkcyjnych i ultra czyszczonych środowisk. Jego odporność oznacza niższe potrzeby konserwacyjne i częstotliwość wymiany, zmniejszając w ten sposób długoterminowe koszty operacyjne.

Kasety teflonowe wykazują bardzo wysoką stabilność termiczną. Mogą łatwo wytrzymać temperatury od -200 ° C do +260 ° C, stosowane zarówno w procesach kriogenicznych, jak i wysokiej temperatury. Nawet umieszczone w podgrzewanych komorach suszenia lub zimnych kąpielach chemicznych kasety nie tracą siły strukturalnej; Nie wypacza ani nie pękają, zapewniając, że wafle pozostaną bezpiecznie podczas przetwarzania. Ta odporność temperatury znacząco przyczynia się do kontroli procesu i jednolitości, które są kluczowe dla produkcji półprzewodników i MEMS.

Równie ważną cechą kaset teflonowych jest jego obojętna, nieprzywierająca powierzchnia. PTFE z natury nie pozwala na adsorpcję cząstek i reszt chemicznych, zmniejszając w ten sposób ryzyko zanieczyszczenia w środowiskach czystego pokoju. Należy to połączyć z gładkim wykończeniem powierzchni, które pozwala na łatwe płukanie i szybkie suszenie, a tym samym wyniki czystszych wyników i szybszych czasów cyklu. W przetwarzaniu półprzewodnikowym, w którym wady mogą być spowodowane nawet mikroskopijnymi zanieczyszczeniami, ten poziom czystości i bezwładności chemicznej jest obowiązkowy.

Każda kaseta jest dokładnie wykonana do tolerancji o ścisłych rozmiarach, gwarantując stałego wyrównania i odstępów w płytkach podczas przenoszenia i umieszczania w cieczy. Ich łatwo zaprojektowana forma pomaga szybki przepływ chemiczny i drenaż, co przyspiesza kursy wymiany chemicznej i poprawia jednolitość czyszczenia lub trawienia na powierzchni opłat.  Kasety są dostępne w standardowych rozmiarach dla 4-calowych, 6-calowych i 8-calowych płytek, z dostępnymi opcjami dostosowywania, aby dopasować określone wymiary podłoża, liczby szczeliny i wymagania dotyczące obsługi.

Zaprojektowane pod kątem kompatybilności z zautomatyzowanymi mokrymi ławkami i robotycznymi systemami obsługi płytek, kasety teflonowe łatwo integrują się z większością konfiguracji produkcji półprzewodników. Ich solidne konstrukcje i wykończenie klasy czystej spełniają rygorystyczne wymagania środowisk certyfikowanych ISO. Wszystkie kasety podlegają dokładnej kontroli i są wstępnie czyszczone w wodzie ultra-pure, aby spełnić standardy czystości wymagane do zaawansowanej produkcji mikroelektroniki. Można zapewnić certyfikaty zgodności i pełnej identyfikowalności materiału w celu zapewnienia zgodności z protokołami zapewnienia jakości.