Chuck z szlifowaniem krawędzi

Chuck z szlifowaniem krawędzi Edicorex to dedykowana część ceramiczna wykonana do procesu szlifowania krawędzi płytki podczas produkcji półprzewodnikowej. Ceramika wykonana jest z wysokiej czystości, białej tlebienty (al₂o₃) o sile mechanicznej, odporności chemicznej i stabilności wymiarowej w celu wsparcia procesu szlifowania opłat. Ponieważ nowe technologie wymagają większych średnic waflowych i delikatniejszych struktur w urządzeniach, szlifowanie krawędzi płytki odgrywa teraz znaczącą rolę w zapobieganiu odpryskiwaniu krawędzi, mikro-szarpieniu i wydajności. Ceramiczne szlifowanie aluminiowe Chuck zapewnia stałą linię bazową, na której można spełnić te ścisłe wymagania produkcyjne.

Alumina ceramicznajest stosowany jako materiał konstrukcyjny ze względu na jego niesamowite właściwości fizyczne, chemiczne i termiczne. Biały tlenek glinu ma wyjątkową twardość z tylko diamentem, który plasuje się wyżej w skali twardości Mohsa, co umożliwia szlifowanie Chucka wytrzymanie zużycia i ścierania w dającej się przewidzieć przyszłości z powtarzalnym użyciem. Biorąc pod uwagę znaczną wytrzymałość mechaniczną tlenku glinu, wafel można bezpiecznie uchwycić i utrzymać, podczas gdy sztywność tlenku glinu nie pozwala na zniekształcenie, ani deformacji, gdy do części zastosowano obciążenie. Biorąc to pod uwagę, alumina jest doskonałym wyborem w celu tworzenia urządzeń i wsparcia, w których wymagana jest precyzja i trwałość.

Stabilność termiczna jest również charakterystyczną cechą ceramiki glinu. Z temperaturą topnienia większą niż 2000 ° C i stabilnością wstrząsu termicznego, chuck może działać w warunkach, w których może nastąpić ogrzewanie lub zmiana temperatury, jest spójna w.R.T, gdzie stabilność wymiarowa jest krytyczna, chociaż kształt krawędzi mielenia może nadać nieco zmiany wymiaru. Siła zacisku pozostaje silna do konsekwentnego utrzymywania wyrównania w szlifowaniu krawędzi. Niska przewodność cieplna tlenku glinu nie powinna umożliwić zlokalizowanego ogrzewania ogrzewania wystarczającego do podnoszenia opłat w celu uzyskania kompromisu integralności opłat w przetwarzaniu delikatnych półprzewodników substratów.

Z chemicznego punktu widzenia ceramika tlenku glinu ma niewielką reakcję na kwasy, alkalis i środowiska plazmowe przetwarzania półprzewodnikowego. W przeciwieństwie do metalowych uchwytów, które mogą korodować lub polimerowe urządzenia, które mogą nadal degradować bez wyraźnego monitorowania, ceramika tlenku glinu jest odporna na te codzienne cykle serwisowe w przetwarzaniu półprzewodnikowym. Ta bezwładność zapewni zerowe zanieczyszczenie powierzchni opłat i utrzyma czystość procesu, ograniczając wszelką utratę wydajności.

W dzisiejszym krajobrazie produkcji półprzewodników proces szlifowania krawędzi jest wieloaspektowy: przygotowuje wafel do późniejszego przetwarzania, a także zapewnia bezpieczny transport, obsługę i integrację z najbardziej zaawansowanymi narzędziami litografii i trawienia. W związku z tym Chuck z szlifowaniem krawędzi jest ważnym elementem układanki bezpiecznego przymocowania opłatek, dokładnie trzymania, i bezpośrednio przyczynia się do niezawodności opłat i wydajności produktu. Wraz z inwestycją w ceramikę glinu, czas jest oszczędzany poprzez rozszerzoną długowieczność takiego zasobu w celu ograniczenia przestojów, zmniejszenia kosztów części i maksymalizacji skuteczności sprzętu (OEE).

Zrobiony z szlifowania krawędzi płytkiAlumina ceramicznaReprezentuje wszystkie zalety wyrafinowanej nauki materialnej i inżynierii precyzyjnej. Jest to przykłady twardości, odporności na zużycie, stabilności termicznej i bezwładności chemicznej niezbędnej do procesu wytwarzania opłat półprzewodników. Solidna wydajność może prowadzić do niezawodnej jakości krawędzi płytek, dobrej wydajności i długotrwałego żywotności sprzętu. Dla producentów półprzewodników zaangażowanych w nienaganną precyzję i wydajność, rozwiązaniem jest szlifowanie krawędzi płytki tlenku glinu.