Alumina ceramiczne ramię

Ceramiczne ramię glinu Semicorex to element zaprojektowany, który jest opracowany do najwyższych specyfikacji zastosowań półprzewodnikowych. Wykonane z tlenku glinu o dużej czystości (Al₂o₃), jest to robotyczne ramię, które ma unikalną kombinację wytrzymałości mechanicznej, stabilności termicznej i odporności chemicznej. Ramię jest zaprojektowane nie tylko do samodzielnego obsługi waflów, ale także musi zapewnić wsparcie procesu w zaawansowanych miejscach produkcyjnych. Musi również upewnić się, że płytki są przenoszone, ustawiane i przetwarzane bez zanieczyszczenia lub uszkodzeń; Poprawa plonów i niezawodność procesu.

Glinkajest jedną z ceramiki technicznej, która znajduje najszersze zastosowanie w technicznym polu ceramicznym. Alumina jest znana z twardości, odporności na zużycie i stabilności w agresywnych środowiskach. Aby cele ceramicznego ramienia zarządzały obsługą płytki bez wprowadzania zanieczyszczenia, może on wykorzystać właściwości tlenku glinu i zapewnić znacznie wyższy poziom odporności na ścieranie w wyniku jego wysokiej czystości i wielkości cząstek; Dlatego nie generuje nadmiernych cząstek podczas powtarzających się ruchów, z waflami lub półprzewodnikowymi substratami jakiegokolwiek innego rodzaju.  Gęstość i niska porowatość, którą prowadzi również, ograniczają potencjał cząstek, które są wolne, i zapewnia, że ​​spełnia ultra czyszczące wymagania FAB rozwoju półprzewodników bez umniejszania czystości wymaganej do obsługi urządzeń submikronowych.

Glinkama wyjątkową stabilność termiczną oprócz siły mechanicznej. Ceramiczne ramię tlenku glinu może znosić ekstremalne temperatury procesowe bez wypaczenia, pękania lub utraty siły. Ta właściwość sprawia, że ​​idealnie nadaje się do włączenia do dowolnego etapu procesu, który obejmuje narażenie na podwyższone temperatury, takie jak dyfuzja, utlenianie lub etapy wyżarzania. Wafle będą miały lepszą niezawodność przeniesienia w trudnym środowisku procesowym, ponieważ zachowuje integralność mechaniczną w ramach cyklu termicznego.

Odporność chemiczna jest kolejnym fundamentalnym dodatnim dodatnim ramieniem ceramicznym tlenku glinu. W produkcji półprzewodnikowej zabiegi często wykonywane są na waflach, które obejmują silne kwasy, alkalis i inne agresywne chemikalia. Podczas gdy elementy metaliczne mogą korodować lub wypłukać zanieczyszczenia, glinu jest chemicznie obojętne, co chroni integralność zarówno ramienia, jak i wafle, które obsługuje. Dlatego bezwładność przedłuża żywotność komponentu, jednocześnie zmniejszając możliwość zanieczyszczenia podczas krytycznych etapów procesu, takich jak czyszczenie mokre lub chemiczne osadzanie pary.

Ramię ceramiczne aluminiowe zostało zaprojektowane z naciskiem na kompatybilność i precyzję. Każde ramię jest wykonane z ciasnych tolerancji wymiarowych, zapewniając dokładne dostosowanie i przepływ opłat oraz kompatybilność z zautomatyzowanym sprzętem do obsługi opłat i systemami robotycznymi. Gładkie, wypolerowane wykończenie powierzchni ma niski interfejs tarcia z waflem, który zmniejsza szansę drapania wafla, co jest niezbędne dla integralności opłat/czystości środowiska i redukcji szybkości defektów. Te zaprojektowane tolerancje zapewniają, że ramię działa swobodnie w szybkim środowisku o wysokiej przepustowości i pozwala zarówno na ludzkie, jak i w pełni zautomatyzowane półprzewodnikowe przepływy pracy na ramieniu.

Ceramiczne ramię tlenku glinu wyciąga się poza tylko wydajność chemiczną i mechaniczną i wpływa na wydajność operacyjną i oszczędności kosztów na wielu poziomach. Sprawdzony trwały charakter ceramiki pozwala ramieniu przewyższyć materiały kompozytowe, takie jak tworzywa sztuczne lub aluminium pod względem długowieczności projektowania przy powtarzalnym obciążeniu mechanicznym, a zatem zmniejsza ilość przestojów operacyjnych i/lub kosztów wymiany. Zdolność do wytrzymania trudnych środowisk obejmuje czystość środowiska, a jednocześnie wytwarza mniejsze przerwy w produkcji, co prowadzi do poprawy stałej produkcji wafli, tj. Rej, a ostatecznie mniej złomu prowadzącego do wyższego ROI (zwrot z inwestycji) dla producentów półprzewodnikowych.

Opcje korzystania zGlinka ceramicznaRamię do procesów półprzewodnikowych są praktycznie nieograniczone - od poruszających się płytek między mokrymi ławkami, pieców dyfuzyjnych i komorami osadzania po narzędzia do sprawdzania i metrologii wykorzystujące podłoża. Wszechstronność tego produktu nie tylko pozwala na stosowanie go do aplikacji do obsługi płytki, ale także dalsze sytuacje automatyzacji, w których wymagana jest dokładność, czystość i niezawodność. Przemysł półprzewodnikowy nieuchronnie porusza się w kierunku mniejszych węzłów i zwiększoną złożoność w zakresie produkcji urządzeń, a ponieważ branża nadal wymaga lepszych roztworów obsługi niezawodnych i niekonlamujących, ceramiczne ramię robotyczne tworzy wyraźną ścieżkę do przodu.