Uchwyt ceramiczny z azotku aluminium

Uchwyt ceramiczny z azotku aluminium to najnowocześniejsze rozwiązanie do obróbki płytek półprzewodnikowych, zaprojektowane specjalnie w celu bezpiecznego mocowania płytek na różnych etapach produkcji. To innowacyjne urządzenie, działające jako uchwyt elektrostatyczny (ESC), wykorzystuje wyjątkowe właściwości ceramiki z azotku glinu, aby zapewnić precyzyjne i niezawodne mocowanie płytek.

Uchwyt ceramiczny Semicorex z azotku aluminium wykorzystuje siły elektrostatyczne, aby mocno przytrzymać płytkę na jej powierzchni. Osiąga się to dzięki starannie zaprojektowanej płycie dociskowej zawierającej zintegrowane elektrody, które są strategicznie obciążone wysokim napięciem. W rezultacie między płytą dociskową a płytką powstaje elektrostatyczna siła trzymająca, skutecznie unieruchamiająca płytkę na miejscu na wszystkich etapach przetwarzania.

Jedną z wyróżniających się cech uchwytu ceramicznego z azotku aluminium jest niezwykłe połączenie wysokiej przewodności cieplnej i właściwości izolacyjnych. To unikalne połączenie właściwości sprawia, że ​​jest to idealny wybór materiału do zastosowań ESC. Wysoka przewodność cieplna zapewnia efektywne odprowadzanie ciepła, kluczowe dla utrzymania równomiernego rozkładu temperatury w waflu podczas przetwarzania. Jednocześnie jego wyjątkowe właściwości izolacyjne zapewniają izolację elektryczną pomiędzy uchwytem a płytką, minimalizując ryzyko zakłóceń elektrycznych lub uszkodzenia wrażliwych elementów półprzewodnikowych.

Uchwyt ceramiczny z azotku aluminium ma kilka zalet w porównaniu z tradycyjnymi materiałami uchwytów. Jego solidna konstrukcja zapewnia długoterminową trwałość, zdolną sprostać rygorystycznym wymaganiom środowisk produkcyjnych półprzewodników. Dodatkowo jego kompatybilność z procesami wysokotemperaturowymi i odporność na rozszerzalność cieplną czynią go niezbędnym narzędziem do uzyskiwania spójnych i wysokiej jakości wyników przetwarzania płytek.