Uchwyty elektrostatyczne z azotku aluminium

Uchwyty elektrostatyczne z azotku aluminium wykorzystują siły elektrostatyczne do bezpiecznego mocowania płytek podczas różnych procesów wytwarzania półprzewodników. Metoda ta eliminuje potrzebę stosowania mechanicznych zacisków lub systemów próżniowych, zmniejszając ryzyko wytwarzania cząstek stałych i naprężeń mechanicznych na delikatnych płytkach. Jedną z kluczowych zalet uchwytów elektrostatycznych z azotku aluminium jest ich zdolność do generowania wysoce jednolitej i stabilnej siły elektrostatycznej na całej powierzchni płytki. Zapewnia to stały kontakt i zapobiega poślizgowi lub deformacji płytki podczas przetwarzania, co prowadzi do poprawy jednorodności osadzonych warstw, wytrawionych cech i innych krytycznych parametrów. Ta jednolita siła mocowania minimalizuje również zniekształcenia płytki, co prowadzi do poprawy wydajności i wydajności urządzenia.

Jeśli chodzi o właściwości termiczne, wysoka przewodność cieplna uchwytów elektrostatycznych z azotku aluminium pozwala na efektywne odprowadzanie ciepła podczas procesów wysokotemperaturowych, zapobiegając naprężeniom termicznym i zapewniając równomierny rozkład temperatury w płytce. Ma to kluczowe znaczenie w zastosowaniach takich jak szybka obróbka termiczna i trawienie plazmowe, gdzie miejscowe ogrzewanie może negatywnie wpłynąć na wydajność urządzenia. Ponadto proces produkcji półprzewodników często wiąże się z szybkimi zmianami temperatury. Wysoka odporność uchwytów elektrostatycznych z azotku aluminium na szok termiczny pozwala wytrzymać te nagłe zmiany temperatury bez degradacji i pęknięć, zapewniając trwałość uchwytu i niezawodne działanie podczas długotrwałego użytkowania. Co więcej, AlN posiada współczynnik rozszerzalności cieplnej (CTE) ściśle zbliżony do współczynnika płytek krzemowych. Ta kompatybilność minimalizuje naprężenia indukowane na styku płytki-uchwytu podczas cykli termicznych, zapobiegając wyginaniu się płytki, zniekształceniom i potencjalnym defektom, które mogłyby mieć wpływ na wydajność i wydajność urządzenia.

AlN jest materiałem wytrzymałym mechanicznie, charakteryzującym się dużą wytrzymałością na zginanie i odpornością na pękanie. Ta wrodzona wytrzymałość pozwala elektrostatycznym uchwytom z azotku aluminium wytrzymać naprężenia mechaniczne występujące podczas produkcji na dużą skalę, zapewniając stałą wydajność i wydłużoną żywotność. Z drugiej strony AlN wykazuje doskonałą odporność na szeroką gamę substancji chemicznych i plazmy powszechnie stosowanych w obróbce półprzewodników. Wykazuje również doskonałą odporność na utlenianie nawet w podwyższonych temperaturach, dzięki czemu powierzchnia uchwytów elektrostatycznych z azotku aluminium pozostaje nieskazitelna i wolna od zanieczyszczeń przez cały okres użytkowania.

Uchwyty elektrostatyczne Semicorex z azotku aluminium są dostępne w różnych rozmiarach i grubościach, aby dostosować się do różnych średnic płytek i wymagań procesu. Ta zdolność adaptacji sprawia, że ​​nadają się do szerokiego zakresu zastosowań w produkcji półprzewodników, od badań i rozwoju po produkcję na dużą skalę.