SIC Próżni Chucks

SemicorexKrzemowy węglikSIC Próżni to zaawansowane technologicznie narzędzia ceramiczne zaprojektowane w celu bezpiecznego i niezawodnego utrzymywania płytek półprzewodników podczas precyzyjnych procesów usuwania materiałów. Są one zaprojektowane do stosowania w ultra czyszczonym, wysokiej temperaturze i chemicznie trudnych środowiskach. SIC Vacuum Chucks pomaga zapewnić doskonałą adsorpcję i wyrównanie płytki. Sycorex Sic Próżniowe chucki są wytwarzane z ceramiki węglika z wysokiej czystości, aby zapewnić doskonałą wytrzymałość mechaniczną, przewodność cieplną i trwałość chemiczną.

Głównym zadaniem próżniowego chucka jest ciągnięcie jednolitego ssania przez powierzchnię opłatek, aby wafel był stabilny podczas procesów, takich jak inspekcja, osadzanie, trawienie i litografia. Typowe uszkodzenie próżniowe mają problemy z wytwarzaniem cząstek, wypaczaniem lub pogorszeniem chemicznym w czasie. W przypadku ekstremalnych warunków produkcji półprzewodników SIC Próżni Chucks zapewnią doskonałą długoterminową trwałość i stabilność.

Materiały z węglików krzemowych są wysoko cenione ze względu na ich twardość, stabilność termiczną i niski współczynnik rozszerzania cieplnego. Materiały te pozostaną stabilne wymiarowo w szerokim zakresie temperatur, umożliwiając stabilność termiczną i poprawę dokładności procesu bez niedopasowania termicznego do wafla. Ich wysoka przewodność cieplna pozwala również na szybkie rozpraszanie ciepła, co jest przydatne w szybkich początkowych warunkach napędowych lub krótkich narażenia na plazmy o wysokiej energii.

Ceramika SIC ma nie tylko korzyści termiczne i mechaniczne, ale jest również odporne na korozję w osoczu i agresywne gazowe procesowe. Ta funkcja sprawia, że SIC próżniowe chucki są szczególnie korzystne w procesach suchego trawienia, CVD i PVD, w których kwarc lub azotki aluminiowe mogą się rozegrać za pomocą. Near chemiczny SIC pomoże ograniczyć zanieczyszczenie i poprawi czas pracy narzędzia.

Aby zapewnić doskonałą wydajność. SemiCoREX sprawia, że SIC próżniowe chucki i określa wyjątkowo ciasne tolerancje z ultra-płaskimi powierzchniami ze strukturami kanałów w aktualizacji Micron. Dzięki tym funkcjom zapewnia wsparcie opłatek z precyzyjnym ssą i ciągłym regionem ssącym dla waflowego wsparcia zmniejszającego ryzyko osnowy lub pęknięcia samych waflów. Dostępne są również niestandardowe usługi projektowania, aby pasowały do różnych rozmiarów płytek (od 2 „do 12”) w różnych aplikacjach.

Jako wyższa wydajność, kontrola procesu i niezawodność są czynnikami, SIC Próżni są nowymi niezbędnymi elementami sprzętu półprzewodnikowego nowej generacji. Zastosowania SIC Packuum Chucks są bezpośrednio powiązane w celu zwiększenia wydajności, niezawodności sprzętu i kontroli przetwarzania.