Ceramiczne pierścienie ostrości do półprzewodników

Ceramika Semicorexpierścień ostrościdla półprzewodników to idealne rozwiązania dostosowane do trudnych warunków pracy podczas trawienia plazmowego. Podczas zaawansowanego procesu trawienia półprzewodników kluczowa jest precyzyjna kontrola dystrybucji plazmy, która może zapewnić stabilność komory trawienia i stałą jednorodność trawienia półprzewodników. Jako niezbędne elementy stosowane w zaawansowanym sprzęcie do trawienia, pierścienie ostrości są zwykle umieszczane wokół płytek półprzewodnikowych i wchodzą z nimi w bezpośredni kontakt. Wydajność pierścieni ogniskujących ma bezpośredni wpływ na powtarzalność procesu, wydajność produktu i czas sprawności sprzętu.

Zalety ceramicznych pierścieni ostrości Semicorex do półprzewodników

1. Bardzo wysoka czystość materiału

Czystość naszaCVD SiCmateriału przekracza 99,9995%. Może to skutecznie zapobiegać zanieczyszczeniu komory trawienia i płytek półprzewodnikowych spowodowanemu niewystarczającą czystością materiału.

2. Wyjątkowa odporność na korozję

Ceramiczne pierścienie ostrości Semicorex do półprzewodników wykonane są z CVD SiC, charakteryzującego się doskonałą odpornością na utlenianie, erozję i korozję chemiczną, szczególnie skutecznym w przypadku gazów procesowych, takich jak HF i HCl, a także gazu plazmowego.

3. Doskonała odporność

Jednorodność rezystancji ceramicznych pierścieni ostrości Semicorex dla półprzewodników jest mniejsza niż 5%.

Zakresy rezystancji: niska rozdzielczość. (<0,02 Ω·cm), średnia rozdz. (0,2–25 Ω·cm), wysoka rozdzielczość (>100 Ω·cm).

Funkcje ceramicznych pierścieni ostrości Semicorex do półprzewodników

1.Kontrola i ujednolicanie krawędziowego pola elektrycznego i rozkładu plazmy

Ceramiczne pierścienie ogniskujące Semicorex do półprzewodników mogą kontrolować rozkład pola elektrycznego wewnątrz komory trawienia i uzyskać bardziej jednolitą powłokę plazmową wokół płytek półprzewodnikowych, umożliwiając plazmie uderzanie w powierzchnię płytki w pionowy i jednolity sposób. W ten sposób można znacznie zmniejszyć efekt krawędzi trawienia i znacznie poprawić precyzję trawienia.

2. Chroń uchwyt elektrostatyczny

Bez zabezpieczenia pierścieni ostrości w procesie trawienia uchwyt elektrostatyczny będzie narażony na bombardowanie i erozję plazmy wysokoenergetycznej. Uchwyty elektrostatyczne są wykonane z drogich materiałów, co wiąże się z niezwykle wysokimi kosztami wymiany. Stosowanie pierścieni ostrości może skutecznie zmniejszyć korozję plazmową uchwytu elektrostatycznego oraz zminimalizować koszty konserwacji i wymiany uchwytu elektrostatycznego.