Subsceptor epitaksjalny LED o głębokim promieniowaniu UV

Semicorex jest wielkoskalowym producentem i dostawcą susceptora grafitowego powlekanego węglikiem krzemu w Chinach. Od wielu lat jesteśmy producentem i dostawcą epitaksjalnego susceptora LED Deep-UV. Nasze produkty mają dobrą przewagę cenową i obejmują większość rynków europejskich i amerykańskich. Cieszymy się, że możemy zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Susceptory epitaksjalne LED o głębokim promieniowaniu UV są niezbędne do produkcji diod LED. Płyta pokryta węglikiem krzemu (SiC) Semicorex sprawia, że produkcja wysokiej jakości płytek Deep UV LED jest bardziej wydajna. Powłoka SiC to gęsta, odporna na zużycie powłoka z węglika krzemu (SiC). Ma wysoką odporność na korozję i ciepło, a także doskonałe przewodnictwo cieplne. SiC nakładamy cienkimi warstwami na grafit za pomocą procesu chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD).
Bez względu na to, jakie są Twoje specyficzne wymagania, zidentyfikujemy najlepsze rozwiązanie dla epitaksji MOCVD, a także dla przemysłu półprzewodników i diod LED.
Nasz epitaksjalny susceptor LED Deep-UV został zaprojektowany w celu uzyskania najlepszego laminarnego przepływu gazu, zapewniając równomierność profilu termicznego. Pomaga to zapobiegać wszelkim zanieczyszczeniom lub dyfuzji zanieczyszczeń, zapewniając wysokiej jakości wzrost epitaksjalny na chipie waflowym.
Skontaktuj się z nami już dziś, aby dowiedzieć się więcej o naszym epitaksjalnym susceptorze LED Deep-UV.

Parametry susceptora epitaksjalnego LED głębokiego UV

Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC
Właściwości SiC-CVD
Struktura krystaliczna	Faza FCC Î²
Gęstość	g/cm³	3.21
Twardość	Twardość Vickersa	2500
Wielkość ziarna	Î¼m	2~10
Czystość chemiczna	%	99.99995
Pojemność cieplna	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacji	℃	2700
Siła Feleksualna	MPa (RT 4-punktowy)	415
Moduł Younga	Gpa (zgięcie 4-punktowe, 1300°)	430
Rozszerzalność cieplna (CTE)	10-6K-1	4.5
Przewodność cieplna	(W/mK)	300

Cechy susceptora epitaksjalnego LED Deep-UV

- Niższe odchylenie długości fali i wyższa wydajność wiórów
- Zarówno podłoże grafitowe, jak i warstwa węglika krzemu mają wysoką przewodność cieplną i doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła.
- Węższe tolerancje wymiarowe prowadzą do wyższej wydajności produktu i niższych kosztów
- Unikaj zdzierania i zapewniaj pokrycie całej powierzchni
Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze: Stabilna w wysokich temperaturach do 1600°C
Wysoka czystość: wykonana przez chemiczne osadzanie z fazy gazowej CVD w warunkach chlorowania w wysokiej temperaturze.
Odporność na korozję: wysoka twardość, gęsta powierzchnia i drobne cząstki.
Odporność na korozję: kwasy, zasady, sole i odczynniki organiczne.