Semicorex jest producentem i dostawcą grafitu powlekanego węglikiem krzemu na dużą skalę w Chinach. Od wielu lat jesteśmy producentem i dostawcą susceptora epitaksjalnego LED Deep-UV. Nasze produkty mają dobrą przewagę cenową i obejmują większość rynków europejskich i amerykańskich. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Susceptory epitaksjalne LED głęboko UV są niezbędne do wytwarzania diod LED. Płyta pokryta węglikiem krzemu Semicorex (SiC) zwiększa wydajność produkcji wysokiej jakości płytek LED głęboko UV. Powłoka SiC to gęsta, odporna na zużycie powłoka z węglika krzemu (SiC). Ma wysokie właściwości antykorozyjne i żaroodporne, a także doskonałą przewodność cieplną. Nakładamy SiC cienkimi warstwami na grafit za pomocą procesu chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD).
Bez względu na Twoje specyficzne wymagania, zidentyfikujemy najlepsze rozwiązanie dla epitaksji MOCVD, a także dla branży półprzewodników i LED.
Nasz susceptor epitaksjalny LED Deep-UV został zaprojektowany tak, aby uzyskać najlepszy laminarny wzór przepływu gazu, zapewniając równomierność profilu termicznego. Pomaga to zapobiegać zanieczyszczeniom lub dyfuzji zanieczyszczeń, zapewniając wysokiej jakości wzrost epitaksjalny na chipie waflowym.
Skontaktuj się z nami już dziś, aby dowiedzieć się więcej o naszym susceptorze epitaksjalnym LED Deep-UV.
Parametry susceptora epitaksjalnego LED Deep-UV
Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC |
||
Właściwości SiC-CVD |
||
Struktura kryształu |
Faza β FCC |
|
Gęstość |
g/cm³ |
3.21 |
Twardość |
Twardość Vickersa |
2500 |
Rozmiar ziarna |
um |
2 ~ 10 |
Czystość chemiczna |
% |
99.99995 |
Pojemność cieplna |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura sublimacji |
℃ |
2700 |
Siła Felexuralna |
MPa (RT 4-punktowy) |
415 |
Moduł Younga |
Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃) |
430 |
Rozszerzalność cieplna (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Przewodność cieplna |
(W/mK) |
300 |
Cechy susceptora epitaksjalnego LED Deep-UV
- Mniejsze odchylenie długości fali i wyższa wydajność wiórów
- Zarówno podłoże grafitowe, jak i warstwa węglika krzemu mają wysoką przewodność cieplną i doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła.
- Węższe tolerancje wymiarowe prowadzą do wyższej wydajności produktu i niższych kosztów
- Unikać odklejania się i zapewnić pokrycie całej powierzchni
Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze: Stabilny w wysokich temperaturach do 1600°C
Wysoka czystość: uzyskana przez chemiczne osadzanie z fazy gazowej CVD w warunkach chlorowania w wysokiej temperaturze.
Odporność na korozję: wysoka twardość, gęsta powierzchnia i drobne cząstki.
Odporność na korozję: kwasy, zasady, sól i odczynniki organiczne.