Nośnik płytek epitaksjalnych GaN-on-SiC

Semicorex jest wiodącym, niezależnym producentem grafitu powlekanego węglikiem krzemu, grafitu precyzyjnie obrobionego o wysokiej czystości, koncentrującym się na obszarach produkcji półprzewodników powlekanych węglikiem krzemu, ceramiką węglika krzemu i MOCVP. Nasz nośnik epitaksjalnych płytek GaN-on-SiC ma dobrą przewagę cenową i obejmuje wiele rynków europejskich i amerykańskich. Cieszymy się, że możemy zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Semicorex SiC Coating of GaN-on-SiC Epitaksial Wafers Carrier to gęsta, odporna na ścieranie powłoka z węglika krzemu (SiC). Ma wysoką odporność na korozję i ciepło, a także doskonałe przewodnictwo cieplne. SiC nakładamy cienkimi warstwami na grafit za pomocą procesu chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD).
Nasz nośnik epitaksjalnych płytek GaN-on-SiC został zaprojektowany w celu uzyskania najlepszego przepływu laminarnego gazu, zapewniając równomierność profilu termicznego. Pomaga to zapobiegać wszelkim zanieczyszczeniom lub dyfuzji zanieczyszczeń, zapewniając wysokiej jakości wzrost epitaksjalny na chipie waflowym.
Skontaktuj się z nami już dziś, aby dowiedzieć się więcej o naszym nośniku płytek epitaksjalnych GaN-on-SiC.

Parametry nośnika płytek epitaksjalnych GaN-on-SiC

Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC
Właściwości SiC-CVD
Struktura krystaliczna	Faza FCC Î²
Gęstość	g/cm³	3.21
Twardość	Twardość Vickersa	2500
Wielkość ziarna	Î¼m	2~10
Czystość chemiczna	%	99.99995
Pojemność cieplna	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacji	℃	2700
Siła Feleksualna	MPa (RT 4-punktowy)	415
Moduł Younga	Gpa (zgięcie 4-punktowe, 1300°)	430
Rozszerzalność cieplna (CTE)	10-6K-1	4.5
Przewodność cieplna	(W/mK)	300

Cechy nośnika płytek epitaksjalnych GaN-on-SiC

- Unikaj zdzierania i zapewniaj pokrycie całej powierzchni
Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze: Stabilna w wysokich temperaturach do 1600°C
Wysoka czystość: wykonana przez chemiczne osadzanie z fazy gazowej CVD w warunkach chlorowania w wysokiej temperaturze.
Odporność na korozję: wysoka twardość, gęsta powierzchnia i drobne cząstki.
Odporność na korozję: kwasy, zasady, sole i odczynniki organiczne.
- Osiągnij najlepszy laminarny przepływ gazu
- Gwarantują równomierność profilu termicznego
- Zapobiegać wszelkim zanieczyszczeniom lub rozprzestrzenianiu się zanieczyszczeń