Semicorex jest wiodącym niezależnym producentem grafitu powlekanego węglikiem krzemu, precyzyjnie obrobionego grafitu o wysokiej czystości, skupiającego się na graficie powlekanym węglikiem krzemu, ceramice z węglika krzemu i MOCVP w obszarach produkcji półprzewodników. Nasz nośnik epitaksjalnych płytek GaN-on-SiC ma dobrą przewagę cenową i obejmuje wiele rynków europejskich i amerykańskich. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Powłoka Semicorex SiC na epitaksjalne płytki GaN-on-SiC Carrier to gęsta, odporna na zużycie powłoka z węglika krzemu (SiC). Ma wysokie właściwości antykorozyjne i żaroodporne, a także doskonałą przewodność cieplną. Nakładamy SiC cienkimi warstwami na grafit za pomocą procesu chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD).
Nasz epitaksjalny nośnik płytek GaN-on-SiC został zaprojektowany w celu uzyskania najlepszego laminarnego przepływu gazu, zapewniając równomierność profilu termicznego. Pomaga to zapobiegać zanieczyszczeniom lub dyfuzji zanieczyszczeń, zapewniając wysokiej jakości wzrost epitaksjalny na chipie waflowym.
Skontaktuj się z nami już dziś, aby dowiedzieć się więcej o naszym nośniku płytek epitaksjalnych GaN-on-SiC.
Parametry nośnika płytek epitaksjalnych GaN-on-SiC
Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC |
||
Właściwości SiC-CVD |
||
Struktura kryształu |
Faza β FCC |
|
Gęstość |
g/cm³ |
3.21 |
Twardość |
Twardość Vickersa |
2500 |
Rozmiar ziarna |
µm |
2 ~ 10 |
Czystość chemiczna |
% |
99.99995 |
Pojemność cieplna |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura sublimacji |
℃ |
2700 |
Siła Felexuralna |
MPa (RT 4-punktowy) |
415 |
Moduł Younga |
Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃) |
430 |
Rozszerzalność cieplna (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Przewodność cieplna |
(W/mK) |
300 |
Cechy nośnika płytek epitaksjalnych GaN-on-SiC
- Unikać odklejania się i zapewnić pokrycie całej powierzchni
Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze: Stabilny w wysokich temperaturach do 1600°C
Wysoka czystość: uzyskana przez chemiczne osadzanie z fazy gazowej CVD w warunkach chlorowania w wysokiej temperaturze.
Odporność na korozję: wysoka twardość, gęsta powierzchnia i drobne cząstki.
Odporność na korozję: kwasy, zasady, sól i odczynniki organiczne.
- Uzyskaj najlepszy laminarny przepływ gazu
- Gwarancja równomierności profilu termicznego
- Zapobiegać wszelkim zanieczyszczeniom lub rozprzestrzenianiu się zanieczyszczeń