Receptor Epi-Wafer SiC

Semicorex jest producentem i dostawcą grafitu powlekanego węglikiem krzemu na dużą skalę w Chinach. Koncentrujemy się na branżach półprzewodników, takich jak warstwy węglika krzemu i półprzewodniki epitaksyjne. Nasz susceptor SiC Epi-Wafer ma dobrą przewagę cenową i obejmuje wiele rynków europejskich i amerykańskich. Cieszymy się, że możemy zostać Twoim długoterminowym partnerem.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Semicorex dostarcza susceptor SiC Epi-Wafer Susceptor pokryty MOCVD, używany do podtrzymywania płytek. Ich konstrukcja z grafitu pokrytego węglikiem krzemu (SiC) o wysokiej czystości zapewnia doskonałą odporność na ciepło, równomierną jednorodność termiczną dla stałej grubości i wytrzymałości warstwy epi, a także trwałą odporność chemiczną. Drobna powłoka krystaliczna SiC zapewnia czystą, gładką powierzchnię, która ma kluczowe znaczenie dla obsługi, ponieważ nieskazitelne płytki stykają się z susceptorem w wielu punktach na całej swojej powierzchni.
Nasz susceptor SiC Epi-Wafer został zaprojektowany w celu uzyskania najlepszego laminarnego przepływu gazu, zapewniając równomierność profilu termicznego. Pomaga to zapobiegać zanieczyszczeniom lub dyfuzji zanieczyszczeń, zapewniając wysokiej jakości wzrost epitaksjalny na chipie waflowym.
Skontaktuj się z nami już dziś, aby dowiedzieć się więcej o naszym susceptorze SiC Epi-Wafer.

Parametry susceptora Epi-Wafer SiC

Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC
Właściwości SiC-CVD
Struktura kryształu	Faza β FCC
Gęstość	g/cm³	3.21
Twardość	Twardość Vickersa	2500
Rozmiar ziarna	µm	2 ~ 10
Czystość chemiczna	%	99.99995
Pojemność cieplna	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacji	℃	2700
Siła Felexuralna	MPa (RT 4-punktowy)	415
Moduł Younga	Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃)	430
Rozszerzalność cieplna (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Przewodność cieplna	(W/mK)	300

Cechy susceptora Epi-Wafer SiC

Grafit pokryty SiC o wysokiej czystości
Doskonała odporność na ciepło i jednorodność termiczna
Drobna powłoka kryształowa SiC zapewniająca gładką powierzchnię
Wysoka odporność na czyszczenie chemiczne
Materiał został tak zaprojektowany, aby nie dochodziło do pęknięć i rozwarstwień.