Finak z szklistą powłoką węglową

Składa szklana powłoka węglowa odczuwa się jak wewnętrzna warstwa izolacyjna w reaktorach epitaksjalnych węglika krzemu. Jest to wysokowydajny materiał izolacyjny zaprojektowany dla zaawansowanych środowisk termicznych. Ten produkt pokonuje typowe półprzewodniki w wysokiej temperaturze wyzwania, oferując doskonałe roztwory ze względu na jego lekkie i doskonałe właściwości izolacji termicznejGraphit Fintr, w połączeniu z integralnością powierzchni i bezwładności chemicznej przekazywanej szklistej powłoki węglowej.

Materiał podstawowy ma wysoką czystośćGraphit Fintrwybrał niską stabilność o wysokiej temperaturze i lekką przewodność cieplną. Normalny grafit odczuwa się zwykle zrzucanie włókien powierzchniowych i wytwarzanie cząstek w podwyższonych temperaturach, które mogą zanieczyścić środowisko procesowe w wrażliwych układach epitaksjalnych. Aby złagodzić ten problem, powierzchnia filcu grafitu jest równomiernie pokryta warstwą szklistego węgla-gęstą, nieporowatą formą węgla znaną z chemicznej bezwładności, niskiej przepuszczalności gazu i wyjątkowej stabilności termicznej.

Szklisty węgiel to nie wykonany węgiel, który łączy właściwości szkła i ceramiki. W przeciwieństwie do krystalicznego grafitu, jest to amorficzny, prawie 100% hybrydyzowany materiał węglowy SP2, który powstaje w wyniku spiekania polimeryzowanych prekursorów organicznych, takich jak żywica fenolowa, żywica alkoholowa furfurylu itp., W obojętnej atmosferze gazu. Ponieważ jest czarny i ma gładką powierzchnię podobną do szkła, nazywa się szklistym węglem.

Szklista powłoka węglowa może wyeliminować wytwarzanie cząstek pieca, zapewnić zamknięte pory powierzchniowe, mieć doskonałe właściwości demoldingowe i zmniejszyć przepuszczalność, dzięki czemu materiał ten jest bardzo odpowiedni do ciągłego odlewu i produktów w przemyśle półprzewodników. Materiał ten ma szeroką gamę zastosowań w przemyśle półprzewodników, szczególnie w częściach grafitowych, takich jak elementy sprzętu do ciągnięcia pojedynczego krystalicznego krzemowego, elementy wzrostu epitaksjalnego, ciągłe formy odlewające, przyrząd uszczelniający szklany itp.

Szklisty węgiel ma wysoką oporność w wysokiej temperaturze do 3000 ° C w gazie obojętnym lub próżni, a w przeciwieństwie do wszystkich innych ceramicznych i metalicznych materiałów w wysokiej temperaturze, wytrzymałość szklistego węgla wzrasta wraz ze wzrostem temperatury do 2700 tys. I nie staje się krucha i ma wyjątkowo wysoką odporność na wstrząsy termiczne, więc krótkie ogrzewanie i czasy chłodzenia nie są problemem. Ponadto szklisty węgiel ma niską masę, niską absorpcję ciepła i niską rozszerzalność cieplną, więc jest odpowiedni do prawie wszystkich zastosowań o wysokiej temperaturze.

Szklista powłoka węglowa odgrywa kluczową rolę w uszczelnianiu porów powierzchniowych filcu grafitu, znacznie zmniejszając uwalnianie cząstek i pyłu węglowego podczas pracy. Jest to szczególnie krytyczne w procesach wzrostu epitaksjalnego SIC, w których nawet minimalne zanieczyszczenie może zagrozić jakości i wydajności urządzenia. Zakładając porowatą strukturę filcu gładką, twardą szklistą powłoką węglową, powłoka zapewnia czyste i stabilne środowisko termiczne w komorze reakcyjnej.

Kluczowe zalety szklistej powłoki węglowej obejmują:

Zmniejszone zrzucanie cząstek: gęsta powłoka skutecznie blokuje luźne włókna i cząstki, zapobiegając zanieczyszczeniu płytek i składników reaktora.

Wysoka stabilność termiczna: Zarówno grafitowy filc, jak i szklisty węgiel mogą wytrzymać temperatury przekraczające 2000 ° C w obojętnej lub próżniowej atmosferze, co czyni produkt idealny do procesów SIC o wysokiej temperaturze.

Newa chemiczne: szklista powierzchnia węgla jest odporna na większość kwasów i gazów korozyjnych, przedłużając żywotność warstwy izolacyjnej w trudnych warunkach.

Ulepszona spójność procesu: zminimalizowane wytwarzanie cząstek przyczynia się do bardziej stabilnego i powtarzalnego środowiska wzrostu epitaksjalnego, które jest niezbędne do wytwarzania wysokiej jakości płytek SIC.

Zastosowania szklistej powłoki węglowej rozciągają się przede wszystkim na SIC epitaksjalnie pieców wzrostu, gdzie jest stosowana jako warstwa izolacji termicznej w strefie gorącej. Produkt jest zwykle instalowany jako materiał wyściółki w górnych lub dolnych stosach izolacji, gdzie zapewnia zarówno ochronę cieplną, jak i zapewnienie czystości.