Poziome łódki waflowe kwarcowe

Poziome łódki z płytek kwarcowychzwykle przechowuje się płytki półprzewodnikowe poziomo w rurach pieca urządzeń do obróbki cieplnej, podgrzewane przez zewnętrzne urządzenia grzewcze. Są szeroko stosowane w wymagających, wysokotemperaturowych, korozyjnych procesach obróbki cieplnej półprzewodników, takich jak utlenianie termiczne, dyfuzja w wysokiej temperaturze, wyżarzanie i chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD).

Funkcje poziomych łódek kwarcowych Semicorex

1. Stabilne trzymanie i zabezpieczanie

Poziome łodzie z płytek kwarcowych Semicorex mają doskonałą nośność i mogą stale zapewniać stabilne wsparcie dla wielu płytek półprzewodnikowych. Zapewniają to zoptymalizowana konstrukcja zewnętrzna i precyzyjna struktura szczelinopłatekjest idealnie dopasowany i solidnie zamocowany na poziomych łódeczkach z płytek kwarcowych, co w znaczący sposób ogranicza zarysowania i kolizje płytek spowodowane drganiami, przemieszczaniem i przechylaniem podczas transportu i procesów produkcyjnych.

2. Pomoc w ujednoliceniu procesu

Struktura szczelin poziomych łódek z płytek kwarcowych o równych odstępach pozwala na uporządkowane rozmieszczenie płytek półprzewodnikowych, tworząc w ten sposób stabilne i gładkie pole przepływu gazu w piecach wysokotemperaturowych. Konstrukcja konstrukcyjna zapewnia stały kontakt z gazem i szybkość reakcji na każdej powierzchni płytki, skutecznie redukując w ten sposób różne defekty spowodowane nierównomiernym ogrzewaniem i różnicowym kontaktem z gazem, takie jak niepełne utlenianie płytki, nierównomierne osadzanie się cienkiej warstwy i odchylenie stężenia domieszki.

3.Długotrwała żywotność

Dzięki doskonałej odporności materiału kwarcowego na wysoką temperaturę, poziome łodzie z płytek kwarcowych Semicorex mogą wytrzymywać wysokie temperatury 1100-1200 ℃ przez długi czas bez deformacji i topienia.Kwarcjest chemicznie obojętny na gazy powszechnie stosowane w procesach półprzewodnikowych, takie jak tlen, azot i chlorowodór. Ta wyjątkowa obojętność chemiczna może zminimalizować ryzyko korozji powodowanej przez gazy procesowe, znacznie wydłużając żywotność oraz redukując czas i koszty wymiany sprzętu.