Łódka Semicorex Quartz Diffusion Boat, nazywana również nośnikiem kwarcowym lub łódką z płytek kwarcowych, została specjalnie zaprojektowana do przechowywania płytek półprzewodnikowych podczas krytycznych procesów, takich jak chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD), utlenianie termiczne i wyżarzanie.**
W chemicznym osadzaniu z fazy gazowej (CVD) rola łodzi dyfuzyjnej kwarcowej jest kluczowa dla równomiernego osadzania cienkich warstw na podłożach półprzewodnikowych. Precyzyjna konstrukcja Quartz Diffusion Boat zapewnia, że płytki są bezpiecznie utrzymywane na miejscu, umożliwiając równomierne rozprowadzenie reagentów gazowych na ich powierzchni. Ta jednorodność jest niezbędna do uzyskania stałej grubości i składu powłoki, co bezpośrednio wpływa na parametry elektryczne urządzeń półprzewodnikowych. Łódź Semicorex Quartz Diffusion Boat została zaprojektowana tak, aby wytrzymać wysokie temperatury i środowiska korozyjne zwykle spotykane w procesach CVD, zapewniając długoterminową trwałość i niezawodność.
Utlenianie termiczne to kolejny krytyczny proces w produkcji półprzewodników, podczas którego na powierzchni płytek krzemowych narasta warstwa dwutlenku krzemu. Ta warstwa tlenku pełni funkcję izolatora i jest niezbędna do prawidłowego funkcjonowania urządzeń półprzewodnikowych. Kwarcowe łodzie dyfuzyjne zostały zaprojektowane tak, aby zapewnić doskonałą stabilność termiczną, zapewniając, że płytki są wystawione na jednolity profil temperatury podczas procesu utleniania. Ta jednorodność jest niezbędna do wzrostu spójnej i wysokiej jakości warstwy tlenku, która zwiększa wydajność i niezawodność końcowych urządzeń półprzewodnikowych.
Wyżarzanie, które obejmuje kontrolowane ogrzewanie i chłodzenie płytek w celu zmiany ich właściwości fizycznych i chemicznych, to kolejny proces, w którym istotną rolę odgrywa łódź dyfuzyjna kwarcowa. Precyzyjna kontrola temperatury i atmosfery podczas wyżarzania ma kluczowe znaczenie dla poprawy struktury krystalicznej krzemu, aktywacji domieszek i ograniczenia defektów. Semicorex Quartz Diffusion Boat została zaprojektowana w celu utrzymania integralności strukturalnej i stabilności termicznej w wysokich temperaturach i szybkich zmianach temperatury typowych dla procesów wyżarzania. Ta stabilność zapewnia równomierną obróbkę płytek, osiągnięcie pożądanych właściwości materiału i poprawę wydajności urządzeń półprzewodnikowych.
Personalizacja jest kluczowym aspektem łodzi dyfuzyjnej kwarcowej, ponieważ różne procesy produkcji półprzewodników mają unikalne wymagania. W Semicorex oferujemy szeroką gamę niestandardowych kształtów i rozmiarów, aby sprostać specyficznym potrzebom naszych klientów. Nasza linia produktów obejmuje różne typy nośników płytek kwarcowych, takie jak łódki kwarcowe, łódki dłutowe, łódki spłaszczające i łódki stojące. Specjalizujemy się w produkcji nośników płytek dla różnych specyfikacji, w tym płytek 3″, 4″, 5″, 6″, 7″ i 8″. Dostępne są zarówno przezroczyste, topione, jak i nieprzezroczyste materiały, co pozwala nam dostarczać rozwiązania dostosowane do specyficznych wymagań każdego zastosowania.
Nasze możliwości produkcyjne wspierane są przez najnowocześniejsze zaplecze, w tym bezpyłowe spawalnie i warsztaty obróbcze o wysokim standardzie. Wykorzystujemy zaawansowane technologie, takie jak cięcie laserowe, centra obróbcze CNC, dłutownice CNC i wydajne cięcie wodą, aby zapewnić najwyższą jakość i precyzję w Quartz Diffusion Boat. Te zaawansowane procesy produkcyjne umożliwiają nam produkcję łodzi kwarcowych o precyzyjnych wymiarach i doskonałym wykończeniu powierzchni, zapewniając optymalną wydajność w procesach produkcji półprzewodników.