Płyta nośna ICP Etching Carrier Plate firmy Semicorex to idealne rozwiązanie do wymagających zastosowań waflowych i procesów osadzania cienkich warstw. Nasz produkt zapewnia doskonałą odporność na ciepło i korozję, a nawet równomierność termiczną i laminarny przepływ gazu. Dzięki czystej i gładkiej powierzchni nasz nośnik idealnie nadaje się do przenoszenia nieskazitelnych wafli.
Płyta nośna ICP Etching Carrier Plate firmy Semicorex zapewnia doskonałą trwałość i długowieczność podczas przenoszenia płytek i procesów osadzania cienkich warstw. Nasz produkt charakteryzuje się doskonałą odpornością na ciepło i korozję, równomierną jednorodnością termiczną i laminarnym przepływem gazu. Dzięki czystej i gładkiej powierzchni nasz nośnik zapewnia optymalną obsługę nieskazitelnych wafli. Wycofaj wysoką temperaturę, czyszczenie chemiczne, a także wysoką jednorodność termiczną.
Skontaktuj się z nami już dziś, aby dowiedzieć się więcej o naszej płycie nośnej do trawienia ICP.
Parametry płyty nośnej trawiącej ICP
Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC |
||
Właściwości SiC-CVD |
||
Struktura kryształu |
Faza β FCC |
|
Gęstość |
g/cm³ |
3.21 |
Twardość |
Twardość Vickersa |
2500 |
Rozmiar ziarna |
um |
2 ~ 10 |
Czystość chemiczna |
% |
99.99995 |
Pojemność cieplna |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura sublimacji |
℃ |
2700 |
Siła Felexuralna |
MPa (RT 4-punktowy) |
415 |
Moduł Younga |
Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃) |
430 |
Rozszerzalność cieplna (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Przewodność cieplna |
(W/mK) |
300 |
Cechy płyty nośnej trawiącej ICP
- Unikać odklejania się i zapewnić pokrycie całej powierzchni
Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze: Stabilny w wysokich temperaturach do 1600°C
Wysoka czystość: uzyskana przez chemiczne osadzanie z fazy gazowej CVD w warunkach chlorowania w wysokiej temperaturze.
Odporność na korozję: wysoka twardość, gęsta powierzchnia i drobne cząstki.
Odporność na korozję: kwasy, zasady, sól i odczynniki organiczne.
- Uzyskaj najlepszy laminarny przepływ gazu
- Gwarancja równomierności profilu termicznego
- Zapobiegać wszelkim zanieczyszczeniom lub rozprzestrzenianiu się zanieczyszczeń