Możesz mieć pewność, że kupisz nośnik trawiący ICP z naszej fabryki, a my zaoferujemy Ci najlepszą obsługę posprzedażną i terminową dostawę. Susceptor waflowy Semicorex jest wykonany z grafitu pokrytego węglikiem krzemu przy użyciu procesu chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Materiał ten posiada unikalne właściwości, w tym odporność na wysoką temperaturę i chemikalia, doskonałą odporność na zużycie, wysoką przewodność cieplną oraz wysoką wytrzymałość i sztywność. Te właściwości sprawiają, że jest to atrakcyjny materiał do różnych zastosowań wysokotemperaturowych, w tym do systemów trawienia plazmą indukcyjnie sprzężoną (ICP).
Zapewniamy usługi dostosowane do indywidualnych potrzeb, pomagamy wprowadzać innowacje w zakresie komponentów, które wytrzymają dłużej, skracają czasy cykli i poprawiają wydajność.
Susceptor firmy Semicorex pokryty węglikiem krzemu do plazmy indukcyjnie sprzężonej (ICP) został zaprojektowany specjalnie do procesów przenoszenia płytek w wysokiej temperaturze, takich jak epitaksja i MOCVD. Dzięki stabilnej odporności na utlenianie w wysokiej temperaturze do 1600°C nasze nośniki zapewniają równomierne profile termiczne, laminarny przepływ gazu oraz zapobiegają dyfuzji zanieczyszczeń.
Czytaj więcejWyślij zapytanieUchwyt na płytki do trawienia ICP firmy Semicorex to idealne rozwiązanie do procesów obróbki płytek w wysokiej temperaturze, takich jak epitaksja i MOCVD. Dzięki stabilnej odporności na utlenianie w wysokiej temperaturze do 1600°C nasze nośniki zapewniają równomierne profile termiczne, laminarny przepływ gazu oraz zapobiegają dyfuzji zanieczyszczeń.
Czytaj więcejWyślij zapytaniePłyta nośna ICP Etching Carrier Plate firmy Semicorex to idealne rozwiązanie do wymagających zastosowań waflowych i procesów osadzania cienkich warstw. Nasz produkt zapewnia doskonałą odporność na ciepło i korozję, a nawet równomierność termiczną i laminarny przepływ gazu. Dzięki czystej i gładkiej powierzchni nasz nośnik idealnie nadaje się do przenoszenia nieskazitelnych wafli.
Czytaj więcejWyślij zapytanieUchwyt do płytek Semicorex do procesu trawienia ICP to idealny wybór do wymagających procesów przenoszenia płytek i osadzania cienkich warstw. Nasz produkt charakteryzuje się doskonałą odpornością na ciepło i korozję, równomierną jednorodnością termiczną oraz optymalnymi wzorcami laminarnego przepływu gazu, co zapewnia spójne i niezawodne wyniki.
Czytaj więcejWyślij zapytanieGrafit ICP Silicon Carbon Coated Graphite firmy Semicorex to idealny wybór do wymagających procesów przenoszenia płytek i osadzania cienkowarstwowego. Nasz produkt charakteryzuje się doskonałą odpornością na ciepło i korozję, równomierną jednorodnością termiczną i optymalnymi wzorami laminarnego przepływu gazu.
Czytaj więcejWyślij zapytanieWybierz system trawienia plazmowego ICP firmy Semicorex do procesu PSS, aby uzyskać wysokiej jakości procesy epitaksji i MOCVD. Nasz produkt został zaprojektowany specjalnie dla tych procesów, oferując doskonałą odporność na ciepło i korozję. Dzięki czystej i gładkiej powierzchni nasz nośnik idealnie nadaje się do przenoszenia nieskazitelnych wafli.
Czytaj więcejWyślij zapytanie