Semicorex jest renomowanym producentem i dostawcą wysokiej jakości płytek MOCVD Cover Star Disc do epitaksji waflowej. Nasz produkt został specjalnie zaprojektowany, aby zaspokoić potrzeby przemysłu półprzewodników, szczególnie w zakresie narastania warstwy epitaksjalnej na chipie waflowym. Nasz susceptor jest używany jako płyta środkowa w MOCVD, z przekładnią lub konstrukcją w kształcie pierścienia. Produkt jest wysoce odporny na wysoką temperaturę i korozję, dzięki czemu idealnie nadaje się do stosowania w ekstremalnych warunkach.
Nasza płyta mocująca MOCVD Cover Star Disc do epitaksji waflowej to doskonały produkt, który zapewnia pokrycie całej powierzchni, zapobiegając w ten sposób odklejaniu się. Posiada odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze, która zapewnia stabilność nawet w wysokich temperaturach do 1600°C. Produkt wytwarzany jest z wysoką czystością poprzez chemiczne osadzanie z fazy gazowej CVD w warunkach chlorowania w wysokiej temperaturze. Ma gęstą powierzchnię z drobnymi cząsteczkami, dzięki czemu jest wysoce odporny na korozję powodowaną przez kwasy, zasady, sól i odczynniki organiczne.
Nasza płyta mocująca MOCVD Cover Star Disc do epitaksji waflowej gwarantuje najlepszy laminarny wzór przepływu gazu, zapewniając równomierność profilu termicznego. Zapobiega wszelkim zanieczyszczeniom i dyfuzji zanieczyszczeń, zapewniając wysokiej jakości wzrost epitaksjalny na chipie waflowym. Nasz produkt jest konkurencyjny cenowo, dzięki czemu jest dostępny dla wielu klientów. Obsługujemy wiele rynków europejskich i amerykańskich, a nasz zespół specjalizuje się w zapewnianiu doskonałej obsługi klienta i wsparcia. Staramy się zostać Twoim długoterminowym partnerem w dostarczaniu wysokiej jakości i niezawodnej płyty MOCVD Cover Star Disc do epitaksji waflowej.
Parametry płyty mocującej MOCVD Cover Star Disc do epitaksji waflowej
Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC |
||
Właściwości SiC-CVD |
||
Struktura kryształu |
Faza β FCC |
|
Gęstość |
g/cm³ |
3.21 |
Twardość |
Twardość Vickersa |
2500 |
Rozmiar ziarna |
µm |
2 ~ 10 |
Czystość chemiczna |
% |
99.99995 |
Pojemność cieplna |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura sublimacji |
℃ |
2700 |
Siła Felexuralna |
MPa (RT 4-punktowy) |
415 |
Moduł Younga |
Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃) |
430 |
Rozszerzalność cieplna (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Przewodność cieplna |
(W/mK) |
300 |
Cechy płyty MOCVD Cover Star Disc do epitaksji waflowej
- Unikać odklejania się i zapewnić pokrycie całej powierzchni
Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze: Stabilny w wysokich temperaturach do 1600°C
Wysoka czystość: uzyskana przez chemiczne osadzanie z fazy gazowej CVD w warunkach chlorowania w wysokiej temperaturze.
Odporność na korozję: wysoka twardość, gęsta powierzchnia i drobne cząstki.
Odporność na korozję: kwasy, zasady, sól i odczynniki organiczne.
- Uzyskaj najlepszy laminarny przepływ gazu
- Gwarancja równomierności profilu termicznego
- Zapobiegać wszelkim zanieczyszczeniom lub rozprzestrzenianiu się zanieczyszczeń