Ponieważ węzły technologiczne stale się kurczą, tworzenie bardzo płytkich połączeń stwarza poważne wyzwania. Procesy wyżarzania termicznego, w tym szybkie wyżarzanie termiczne (RTA) i wyżarzanie lampą błyskową (FLA), to istotne techniki, które pozwalają na utrzymanie wysokiego współczynnika aktywacj......
Czytaj więcejW produkcji półprzewodników precyzja i stabilność procesu trawienia są najważniejsze. Jednym z kluczowych czynników zapewniających wysoką jakość trawienia jest zapewnienie, że wafle podczas procesu będą idealnie płaskie na tacy. Wszelkie odchylenia mogą prowadzić do nierównomiernego bombardowania jo......
Czytaj więcejProces osadzania cienkich warstw półprzewodników jest istotnym elementem nowoczesnej technologii mikroelektroniki. Polega na konstruowaniu złożonych układów scalonych poprzez osadzanie jednej lub więcej cienkich warstw materiału na podłożu półprzewodnikowym.
Czytaj więcejWęglik krzemu (SiC) to materiał półprzewodnikowy o szerokiej przerwie wzbronionej, który w ostatnich latach wzbudził duże zainteresowanie ze względu na jego wyjątkową wydajność w zastosowaniach wysokiego napięcia i wysokiej temperatury. W tym badaniu systematycznie bada się różne cechy kryształów Si......
Czytaj więcej