Trawienie na sucho jest główną technologią stosowaną w procesach produkcyjnych układów mikroelektromechanicznych. Wydajność procesu trawienia na sucho ma bezpośredni wpływ na precyzję strukturalną i wydajność operacyjną urządzeń półprzewodnikowych. Aby precyzyjnie kontrolować proces trawienia, należ......
Czytaj więcejTrawienie na sucho to zazwyczaj proces łączący działania fizyczne i chemiczne, przy czym bombardowanie jonami jest kluczową techniką trawienia fizycznego. Podczas trawienia kąt padania i rozkład energii jonów mogą być nierówne.
Czytaj więcejProwadnica aerostatyczna z węglika krzemu to zaawansowany system prowadnic, który łączy w sobie właściwości materiałowe węglika krzemu i technologię aerostatyczną. Służąc jako optymalne rozwiązanie dla wysoce precyzyjnych, niezawodnych i długotrwałych systemów ruchu, aerostatyczna prowadnica z węgli......
Czytaj więcejGłówną metodą wytwarzania monokryształów węglika krzemu jest metoda fizycznego transportu pary (PVT). Metoda ta składa się głównie z wnęki rurki kwarcowej, elementu grzejnego (cewki indukcyjnej lub grzejnika grafitowego), materiału izolacyjnego z grafitowego filcu węglowego, tygla grafitowego, krysz......
Czytaj więcejSOI, skrót od Silicon-On-Insulator, to proces produkcji półprzewodników oparty na specjalnych materiałach podłoża. Od czasu industrializacji w latach 80. XX wieku technologia ta stała się ważną gałęzią zaawansowanych procesów wytwarzania półprzewodników. Wyróżniający się unikalną trójwarstwową struk......
Czytaj więcejUchwyt elektrostatyczny spełnia wiele funkcji, takich jak równomierne wyładowanie elektrostatyczne, przewodzenie ciepła oraz adsorpcja i utrwalanie płytek w dziedzinie produkcji półprzewodników. Jedną z podstawowych funkcji ESC jest stabilna adsorbcja płytek w ekstremalnych warunkach pracy, takich j......
Czytaj więcej