Trawienie lub wytrawianie to kluczowy etap w produkcji półprzewodników, produkcji układów scalonych mikroelektroniki oraz procesach wytwarzania mikro/nano. Jest to podstawowy proces modelowania związany z fotolitografią. W wąskim znaczeniu trawienie jest zasadniczo trawieniem fotolitograficznym, pod......
Czytaj więcejAzotek krzemu (Si₃N₄) jest strukturalnym materiałem ceramicznym o właściwym przewodnictwie cieplnym około 320 W/(m·K), charakteryzującym się wysoką przewodnością cieplną i wyjątkowymi właściwościami mechanicznymi. Dzięki swojej doskonałej stabilności w temperaturze otoczenia Si₃N₄ stał się powszechn......
Czytaj więcejW procesie wytwarzania wysokiej klasy urządzeń półprzewodnikowych folie SiO₂ powstają zwykle w procesach utleniania w celu obróbki powierzchni podłoża, a ich typowe zastosowania obejmują warstwy barierowe domieszki, warstwy izolacji powierzchniowej, warstwy tlenków bramek, tlenki polowe i tlenki pro......
Czytaj więcejWraz z postępem technologii inteligentne produkty, takie jak telefony komórkowe, komputery, pojazdy elektryczne i roboty, stały się częścią życia ludzi. Produkty te zawierają dużą liczbę chipów półprzewodnikowych, a produkcja chipów wymaga sprzętu półprzewodnikowego, takiego jak maszyny do trawienia......
Czytaj więcejWafle krzemowe o wysokiej rezystancji (HR-Si), jak sama nazwa wskazuje, to monokrystaliczny materiał krzemowy o wyjątkowo wysokiej rezystywności. W zaawansowanej produkcji półprzewodników straty w wysokich częstotliwościach stały się głównym wyzwaniem w projektowaniu wysokiej klasy chipów. Dzięki sw......
Czytaj więcejPierścień ostrości, zwany także pierścieniem kompensacyjnym lub pierścieniem ograniczającym, jest niezbędnym elementem sprzętu do trawienia, zwłaszcza sprzętu do suchego trawienia plazmowego. Bez tego nie byłoby możliwe precyzyjne trawienie w skali nano w nowoczesnej produkcji półprzewodników. Zasto......
Czytaj więcej