Przy produkcji płytek o ultrawysokiej czystości, płytki muszą osiągnąć standard czystości ponad 99,999999999%, aby zapewnić podstawowe właściwości półprzewodników. Paradoksalnie, aby uzyskać funkcjonalną konstrukcję układów scalonych, należy lokalnie wprowadzić na powierzchnię płytek określone zanie......
Czytaj więcejCeramiczne uchwyty próżniowe wykonane są z porowatych materiałów ceramicznych o równomiernym rozkładzie wielkości porów i wewnętrznych połączeniach. Po szlifowaniu powierzchnia jest gładka i delikatna o dobrej płaskości. Są szeroko stosowane w produkcji płytek półprzewodnikowych, takich jak krzem, s......
Czytaj więcejDobór płytek ma znaczący wpływ na rozwój i produkcję urządzeń półprzewodnikowych. Przy wyborze płytek należy kierować się wymaganiami konkretnych scenariuszy zastosowań i należy je dokładnie ocenić, korzystając z następujących kluczowych wskaźników.
Czytaj więcejSprzęt do trawienia na sucho nie wykorzystuje do trawienia mokrych środków chemicznych. Wprowadza przede wszystkim gazowy środek trawiący do komory poprzez górną elektrodę z małymi otworami przelotowymi. Pole elektryczne generowane przez górną i dolną elektrodę jonizuje gazowy środek trawiący, który......
Czytaj więcejJako przedstawiciel materiałów półprzewodnikowych trzeciej generacji, węglik krzemu (SiC) charakteryzuje się szerokim pasmem wzbronionym, wysoką przewodnością cieplną, polem elektrycznym o wysokim przebiciu i dużą ruchliwością elektronów, co czyni go idealnym materiałem do urządzeń wysokiego napięci......
Czytaj więcej