Dysk ceramiczny PBN

Jedną z najważniejszych zalet dysku ceramicznego PBN jest jego wyjątkowo wysoka czystość. Czystość materiałów gazowych stosowanych w procesie syntezy (BCl3 + NH3 -> BN + HCl) znacznie przewyższa czystość konwencjonalnych proszków azotku boru. W rezultacie dysk ceramiczny PBN osiąga poziom czystości 99,99%, a całkowite zanieczyszczenia wynoszą mniej niż 100 części na milion (ppm). Ta wyjątkowa czystość ma kluczowe znaczenie w produkcji półprzewodników, gdzie nawet najmniejsze zanieczyszczenie może prowadzić do defektów elementów elektronicznych. Zapewniając tak wysoką czystość, dysk ceramiczny PBN minimalizuje ryzyko zanieczyszczenia, zwiększając w ten sposób niezawodność i wydajność urządzeń półprzewodnikowych.

Proces CVD zastosowany w produkcji dysku ceramicznego PBN nadaje mu niemal idealną strukturę warstwową. Ta unikalna struktura zapewnia anizotropowe przewodnictwo cieplne, właściwość, która jest bardzo korzystna w przypadku komponentów stosowanych w piecach i systemach próżniowych. Anizotropowa przewodność cieplna pozwala dyskowi ceramicznemu PBN skutecznie zarządzać dystrybucją ciepła, zapewniając równomierną kontrolę temperatury na powierzchni dysku. Zdolność ta jest niezbędna w procesach produkcji półprzewodników, które wymagają precyzyjnego zarządzania temperaturą, aby zapobiec gradientom termicznym, które mogłyby prowadzić do awarii lub nieefektywności komponentów.

Pod względem odporności termicznej Płyta Ceramiczna PBN wyróżnia się jako materiał wzorcowy. Wytrzymuje temperatury do 1800°C w środowisku próżniowym i 2000°C w azocie, nie wykazując temperatury topnienia. Ta niezwykła stabilność termiczna sprawia, że ​​jest to idealny wybór do elementów pieców i zbiorników do topienia, gdzie ekstremalne temperatury są rutynową częścią działania. Zdolność do utrzymania integralności strukturalnej w tak wysokich temperaturach zapewnia trwałość i niezawodność, zmniejszając potrzebę częstych wymian, a tym samym obniżając ogólne koszty operacyjne.

Obojętność chemiczna to kolejna cecha charakterystyczna dysku ceramicznego PBN. Jest odporny na reakcje z szeroką gamą substancji, w tym kwasami, zasadami, rozpuszczalnikami organicznymi, stopionymi metalami i grafitem. Ta obojętność jest szczególnie korzystna w produkcji półprzewodników, gdzie powszechne jest narażenie na substancje reaktywne. Pozostając niereaktywnym, dysk ceramiczny PBN pozwala uniknąć niepożądanych interakcji chemicznych, które mogłyby zagrozić integralności i funkcjonalności elementów półprzewodnikowych.

Zastosowania dysku ceramicznego PBN w przemyśle półprzewodników są różnorodne i znaczące. Jego właściwości sprawiają, że jest to idealny materiał do stosowania w różnych środowiskach o wysokiej temperaturze i wysokiej czystości. Na przykład w procesach wzrostu epitaksjalnego dysk służy jako kluczowy element w systemach osadzania, gdzie jego czystość i przewodność cieplna zapewniają wytwarzanie wysokiej jakości warstw półprzewodników. Dodatkowo przy wytwarzaniu diod LED i innych urządzeń optoelektronicznych dysk ceramiczny PBN zapewnia stabilną i niezawodną platformę, która obsługuje skomplikowane procesy wymagane do osiągnięcia optymalnej wydajności urządzenia.

Ponadto rola PBN Ceramic Disc rozciąga się na produkcję urządzeń energoelektronicznych. Urządzenia te często działają w wysokich temperaturach i wymagają materiałów, które mogą utrzymać wydajność w takich warunkach. Doskonałe właściwości termiczne i chemiczne dysku ceramicznego PBN sprawiają, że jest to odpowiedni wybór do podłoży i innych komponentów systemów energoelektronicznych, przyczyniając się do wydajności i trwałości tych urządzeń.

Struktury azotku boru