Grzeźby kompozytowe PBN

Nececorex PBN Głodet kompozytowy łączą doskonałą przewodność cieplną pirolitycznego grafitu z chemiczną bezwładnością i izolacją elektryczną pirolitycznego azotku boru. Główki te są zbudowane z bardzo wysokiej czystości grafitu i PBN, który jest stosowany przy użyciu procesu wysokiej jakości CVD (chemiczne osadzanie pary) w warunkach odkładania o wysokiej czystości. Każda indywidualna warstwa osiągnięć została zdeponowana z bardzo ekstremalną kontrolą, aby zapewnić ultra wysoką czystość i spójne właściwości termiczne. Rdzeń grafitowy, który zapewnia szybkie i jednolite ogrzewanie, jest chroniony przed utlenianiem i zanieczyszczeniem przez kapsułkę PBN; To sprawia, że grzejnik jest idealny do środowisk gazowych próżniowych i obojętnych środowisk gazowych. Te grzejniki PBN są celowo zaprojektowane do stosowania w reaktorach MBE (epitaksja wiązki molekularnej), reaktorach CVD i innych systemach wzrostu kryształów.

Pirolityczny grzejnik z azotkiem boru-pirolityczny (PBN-PG) to grzejnik, który wykorzystuje wysokowydajny PBN jako substrat i wykorzystuje niskopresowe osadzanie pary rozkładu termicznego (CVD) pod niskim ciśnieniem (poniżej 10 TOR) i wysokiej temperatury do pokrycia przewodnictwa PG. Głównymi składnikami tego kompozytowego grzejnika są pirolityczny azotek boru (PBN) i grafit pirolityczny (PG). Ze względu na doskonałą odporność na korozję i oporność na wysoką temperaturę jest stosowana głównie do podgrzewania substratu półprzewodnika (stosowanego w MBE, MOCVD, powładzie rozpylania itp.); Ogrzewanie podłoża nadprzewodnika; Ogrzewanie próbki podczas analizy próbki; Podgrzewanie próbki mikroskopu elektronowego; ogrzewanie metalowe; Źródło ogrzewania metalowego parowania itp.

Grzeźby PBN mogą wytrzymać temperatury robocze do 1600 ° C w próżni i mieć lepszą zdolność wytrzymywania wstrząsu cieplnego w stosunku do wszelkich alternatyw opartych na metalach, na których można by polegać. Powierzchnia grzejnika jest wyjątkowo gładka i gęsta i wytwarza znacznie mniej cząstek podczas pracy, co ma kluczowe znaczenie dla zastosowań, w których zanieczyszczenia nie można tolerować, takich jak półprzewodnikowe przetwarzanie opłat.

Struktura kompozytowa zapewnia doskonałą jednolitość termiczną na powierzchni grzejnej, a jej ścieżki rezystancyjne można dostosować, aby umożliwić dostosowany rozkład ciepła. Ta konstrukcja umożliwia szybkie szaleństwo i czas odnowienia podczas przetwarzania bez pękania i rozwarstwiania ze względu na te same współczynniki rozszerzania termicznego używanych materiałów. Elektrody są zdolne do wytrzymania ciągłego wysokiego prądu i są również kompatybilne w próżni.

SemiCorex zapewnia nieograniczoną elastyczność projektowania unikalnych kształtów, rozmiarów i wymagań energetycznych w razie potrzeby, aby zaspokoić określone potrzeby aplikacji; Niezależnie od tego, czy dotyczy to standardowych rozmiarów płytek, czy bardziej złożonych geometrii, gwarantujemy dokładność wymiarową i jednolitość cieplną w każdej wyprodukowanej jednostce.

Kompozytowe grzejniki PBN są idealne do ultra czyszczenia zastosowań, w tym:

• Systemy MBE dla przetwarzania półprzewodników III-V i II-VI
• Systemy powlekania próżniowego dla komponentów optycznych
• Systemy wzrostu kryształów dla szafiru i sic
• Przetwarzanie termiczne o wysokiej czystości dla środowisk laboratoryjnych badań i rozwoju.