Grzejnik PBN

Perolityczny pirolityczny azotek azotku boru PBN to wysoki poziom, wysokowydajny składnik grzewczy zaprojektowany do wymagających zastosowań, w których niezbędne są ultra czyszczące, chemicznie stabilne i wydajne termicznie materiały. PBN, wyprodukowane w procesie odkładania pary chemicznej (CVD), wykazuje wyjątkową przewodność cieplną, oporność w wysokiej temperaturze i wybitną bezwładność chemiczną, co czyni go idealnym wyborem do przetwarzania półprzewodników, wzrostu kryształu i zastosowań próżniowych.

Grzeźnik PBN to grzejnik, który wykorzystuje wysoce izolację PBN jako podłoża i wykorzystuje niskociśnieniowy rozkład termiczny rozkład pary (CVD) do pokrycia przewodzącego PG pod niskim ciśnieniem (poniżej 10 Torr) i wysokiej temperatury. Głównymi składnikami tego kompozytowego grzejnika są pirolityczny azotek boru (PBN) i grafit pirolityczny (PG). Ze względu na doskonałą odporność na korozję i oporność na wysoką temperaturę jest stosowana głównie do podgrzewania substratu półprzewodnika (stosowanego w MBE, MOCVD, powładzie rozpylania itp.); Ogrzewanie podłoża nadprzewodnika; Ogrzewanie próbki podczas analizy próbki; Podgrzewanie próbki mikroskopu elektronowego; ogrzewanie metalowe; Źródło ogrzewania metalowego parowania itp.

PBN jest obojętne od gazów korozyjnych; ma wysoką czystość (większą niż 99,99%); nie mokry ani nie reaguje z większością stopionych metali (ma charakterystykę nieprzywierającej patelni, a metal może być stosowany w 100%); ma dobrą oporność w wysokiej temperaturze (maksymalna temperatura robocza wynosi 2000 ℃); dobra gęstość; Dobra odporność na wstrząsy termiczne i inne doskonałe właściwości sprawiają, że jest to idealny materiał do przygotowywania grzejników kompozytowych PBN-PG. PG można szybko ogrzewać do 1600 ℃ (w obojętnej atmosferze i pod próżnią) w grzejniku PBN. Jednocześnie, w połączeniu z dobrą przewodnością cieplną PBN, powierzchnia grzewcza ma dobrą jednolitość cieplną. Wraz z szybkim rozwojem powiązanych branż popyt na grzejniki kompozytowe PBN-PG również gwałtownie wzrosło.

Grzejniki PBN można wytwarzać w różnych kształtach i konfiguracjach, aby spełnić określone wymagania dotyczące projektowania i integracji. Typowe projekty obejmują płaskie grzejniki, grzejniki rurowe i niestandardowe geometrie z osadzonymi lub zamontowanymi powierzchniowo pierwiastkami grzewczymi. Elementy grzewcze są zwykle wykonane z pirolitycznego grafitu (PG) i zamknięte w PBN, zapewniając strukturę całkowicie uszczelnioną, elektrycznie izolacyjną i wydajną termicznie.