Produkty

Stałe pierścienie CVD SiC Semicorex to wysokowydajne elementy w kształcie pierścienia, stosowane głównie w komorach reakcyjnych sprzętu do trawienia plazmowego w zaawansowanym przemyśle półprzewodników. Pierścienie Semicorex z litego materiału CVD SiC przechodzą ścisłą selekcję materiałów i kontrolę jakości, oferując niezrównaną czystość materiału, wyjątkową odporność na korozję plazmową i stałą wydajność operacyjną.

Uszczelnienia Semicorex SiC to wysokowydajne mechaniczne elementy czołowe zaprojektowane tak, aby zapewnić doskonałą odporność na zużycie, stabilność termiczną i uniwersalną obojętność chemiczną w najbardziej wymagających środowiskach urządzeń obrotowych. Semicorex to profesjonalny dostawca materiałów ceramicznych SiC, który może dostarczać produkty o wysokiej precyzji klientom na całym świecie.*

Semicorex SiC Pedestal to precyzyjny, wielofunkcyjny komponent sprzętowy zaprojektowany w celu zapewnienia stabilności termicznej i skomplikowanej dystrybucji płynu wymaganej w zaawansowanych systemach reakcji mikrokanałowych. Semicorex specjalizuje się w projektowaniu i dostawie stojaków SiC o wysokiej czystości zgodnie z potrzebami klientów.*

Przyrządy grafitowe z powłoką Semicorex SiC to podstawowe elementy grafitowe pokryte gęstą i jednolitą powłoką SiC. W połączeniu z doskonałymi właściwościami zarówno grafitu, jak i węglika krzemu, grafitowe przyrządy mocujące Semicorex z powłoką SiC działają niezawodnie w złożonych warunkach pakowania i testowania półprzewodników.

Ceramiczny uchwyt próżniowy Semicorex SiC jest wytwarzany ze spiekanego gęstego węglika krzemu (SSiC) o wysokiej czystości i stanowi ostateczne rozwiązanie do precyzyjnego przenoszenia i przerzedzania płytek, zapewniając niezrównaną sztywność, stabilność termiczną i płaskość poniżej mikrona. Semicorex pragnie dostarczać wysokiej jakości i ekonomiczne produkty klientom na całym świecie.*

Rury piecowe Semicorex CVD pokryte SiC to wysokiej klasy elementy rurowe produkowane specjalnie do wysokotemperaturowej obróbki półprzewodników, takiej jak utlenianie, dyfuzja i wyżarzanie płytek półprzewodnikowych. Wykorzystując zaawansowane technologie przetwarzania i dojrzałe doświadczenie produkcyjne, Semicorex jest zaangażowany w dostarczanie naszym cenionym klientom precyzyjnie obrobionych rur piecowych powlekanych CVD SiC o wiodącej na rynku jakości.