Taca nośna do trawienia PSS do obróbki płytek

Tacka nośna do trawienia PSS firmy Semicorex do obróbki płytek została specjalnie zaprojektowana do wymagających zastosowań w sprzęcie do epitaksji. Nasz ultraczysty nośnik grafitowy jest idealny do faz osadzania cienkowarstwowych, takich jak MOCVD, susceptory epitaksji, platformy naleśnikowe lub satelitarne oraz do przetwarzania płytek, takiego jak trawienie. Taca nośna trawiąca PSS do obróbki płytek ma wysoką odporność na ciepło i korozję, doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła i wysoką przewodność cieplną. Nasze produkty są opłacalne i mają dobrą przewagę cenową. Obsługujemy wiele rynków europejskich i amerykańskich i nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Tacka nośna do trawienia PSS do obróbki płytek firmy Semicorex została zaprojektowana z myślą o trudnych warunkach wymaganych do procesów wzrostu epitaksjalnego i obsługi płytek. Nasz ultraczysty nośnik grafitowy został zaprojektowany do podtrzymywania płytek podczas faz osadzania cienkowarstwowego, takich jak MOCVD i susceptory epitaksji, naleśniki lub platformy satelitarne. Nośnik pokryty SiC ma wysoką odporność na ciepło i korozję, doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła i wysoką przewodność cieplną. Nasze produkty są opłacalne i oferują dobrą przewagę cenową.

Parametry tacy nośnej trawiącej PSS do obróbki płytek

Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC
Właściwości SiC-CVD
Struktura kryształu	Faza β FCC
Gęstość	g/cm³	3.21
Twardość	Twardość Vickersa	2500
Rozmiar ziarna	um	2 ~ 10
Czystość chemiczna	%	99.99995
Pojemność cieplna	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacji	℃	2700
Siła Felexuralna	MPa (RT 4-punktowy)	415
Moduł Younga	Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃)	430
Rozszerzalność cieplna (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Przewodność cieplna	(W/mK)	300