Transporter PSS do transportu płytek

Nośnik PSS Handling Carrier do transferu płytek firmy Semicorex został zaprojektowany z myślą o najbardziej wymagających zastosowaniach związanych ze sprzętem do epitaksji. Nasz ultraczysty nośnik grafitowy jest odporny na trudne warunki, wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne. Nośnik pokryty SiC ma doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła, wysoką przewodność cieplną i jest opłacalny. Nasze produkty są szeroko stosowane na wielu rynkach europejskich i amerykańskich i nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Nośnik PSS do przenoszenia płytek firmy Semicorex został zaprojektowany tak, aby spełniać wymagania w zakresie wysokotemperaturowego i ostrego czyszczenia chemicznego w procesach wzrostu epitaksjalnego i przenoszenia płytek. Nasz ultraczysty nośnik grafitowy jest idealny do faz osadzania cienkowarstwowych, takich jak MOCVD, susceptory epitaksji, platformy naleśnikowe lub satelitarne oraz do przetwarzania płytek, takiego jak trawienie. Nośnik pokryty SiC ma doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła, wysoką przewodność cieplną i jest opłacalny.

Skontaktuj się z nami już dziś, aby dowiedzieć się więcej o naszym nośniku PSS do transportu płytek.

Parametry nośnika PSS do transportu płytek

Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC
Właściwości SiC-CVD
Struktura kryształu	Faza β FCC
Gęstość	g/cm³	3.21
Twardość	Twardość Vickersa	2500
Rozmiar ziarna	um	2 ~ 10
Czystość chemiczna	%	99.99995
Pojemność cieplna	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacji	℃	2700
Siła Felexuralna	MPa (RT 4-punktowy)	415
Moduł Younga	Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃)	430
Rozszerzalność cieplna (CTE)	10-6K-1	4.5
Przewodność cieplna	(W/mK)	300