Pionowe łódki kwarcowe

W procesach produkcji półprzewodników elementy półprzewodnikowe w komorze reakcyjnej muszą spełniać rygorystyczne standardy wysokiej czystości. W przeciwnym razie nawet zanieczyszczenia lub zanieczyszczenia w skali mikro lub nano mogą spowodować nieodwracalne uszkodzenie wydajności i wydajności urządzeń półprzewodnikowych.

Łódki z płytek kwarcowychsą zwykle instalowane pionowo w wysokotemperaturowych komorach reakcyjnych, takich jak piece dyfuzyjne, piece utleniające i piece do wyżarzania, gdzie muszą mieć bezpośredni kontakt z płytkami. Pionowe łódki z płytek kwarcowych Semicorex są produkowane z materiałów kwarcowych o wysokiej czystości, aby spełnić te wymagania dotyczące wysokiej czystości. Ten mądry dobór materiałów skutecznie pozwala uniknąć zanieczyszczenia płytek przez reagenty uwalniane z łódek w procesie produkcyjnym.

W produkcji półprzewodników łodzie waflowe muszą nie tylko poddawać się powtarzalnym cyklom ogrzewania i chłodzenia, ale także wytrzymywać korozję gazów procesowych przez dłuższy czas. Kwarc pionowy Semicorexopłatekłodzie wykazują wyjątkową stabilność wymiarową w trudnych warunkach pracy, związanych z ciągłymi cyklami termicznymi, ze względu na ich wrodzoną stabilność termiczną. Te doskonałe właściwości termiczne znacznie zapobiegają deformacji płytek i uszkodzeniom spowodowanym degradacją precyzyjną lub deformacją strukturalną pionowych łódek kwarcowych. Co więcej, dzięki wysokiej obojętności chemicznej, pionowe łodzie z płytek kwarcowych mogą być odporne na reakcję z gazami korozyjnymi, takimi jak tlen, para wodna, chlorowodór i amoniak. Ta właściwość znacznie zmniejsza możliwość, że korozja chemiczna naruszy integralność strukturalną pionowych łodzi z płytek kwarcowych.

Oprócz wspomnianych powyżej korzyści w zakresie wydajności, pionowe łodzie z płytek kwarcowych Semicorex wykazują również doskonałą konkurencyjność pod względem dokładności wymiarowej i projektu konstrukcyjnego. Każda ich część jest wytwarzana przy użyciu precyzyjnych technik obróbki. Ta precyzyjna kontrola wymiarowa zapewnia dokładne pozycjonowanie płytek, minimalizując zadrapania i pęknięcia spowodowane przemieszczeniem lub kolizjami podczas załadunku, przetwarzania i rozładunku.