Nośnik powlekany RTP RTA SiC

Semicorex jest producentem i dostawcą grafitu powlekanego węglikiem krzemu na dużą skalę w Chinach. Susceptor grafitowy Semicorex zaprojektowany specjalnie dla sprzętu epitaksyjnego o wysokiej odporności na ciepło i korozję w Chinach. Nasz nośnik powlekany RTP RTA SiC ma dobrą przewagę cenową i obejmuje wiele rynków europejskich i amerykańskich. Cieszymy się, że możemy zostać Twoim długoterminowym partnerem.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Semicorex dostarcza nośnik powlekany RTP RTA SiC stosowany do podtrzymywania płytek, który jest naprawdę stabilny w przypadku RTA, RTP lub ostrego czyszczenia chemicznego. RTP RTA SiC Coated Nośnik z konstrukcją z grafitu powlekanego węglikiem krzemu (SiC) o wysokiej czystości zapewnia doskonałą odporność na ciepło, równomierną jednorodność termiczną dla stałej grubości i wytrzymałości warstwy epi oraz trwałej odporności chemicznej. Drobna powłoka krystaliczna SiC zapewnia czystą, gładką powierzchnię, która ma kluczowe znaczenie dla obsługi, ponieważ nieskazitelne płytki stykają się z susceptorem w wielu punktach na całej swojej powierzchni.
W Semicorex koncentrujemy się na dostarczaniu wysokiej jakości, ekonomicznego nośnika powlekanego RTP RTA SiC, priorytetowo traktujemy satysfakcję klienta i zapewniamy opłacalne rozwiązania. Cieszymy się, że możemy zostać Twoim długoterminowym partnerem, dostarczającym produkty wysokiej jakości i wyjątkową obsługę klienta.

Parametry nośnika powlekanego RTP RTA SiC

Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC
Właściwości SiC-CVD
Struktura kryształu	Faza β FCC
Gęstość	g/cm³	3.21
Twardość	Twardość Vickersa	2500
Rozmiar ziarna	µm	2 ~ 10
Czystość chemiczna	%	99.99995
Pojemność cieplna	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacji	℃	2700
Siła Felexuralna	MPa (RT 4-punktowy)	415
Moduł Younga	Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃)	430
Rozszerzalność cieplna (CTE)	10-6K-1	4.5
Przewodność cieplna	(W/mK)	300

Cechy nośnika powlekanego RTP RTA SiC

- Zarówno podłoże grafitowe, jak i warstwa węglika krzemu mają dobrą gęstość i mogą odgrywać dobrą rolę ochronną w wysokich temperaturach i korozyjnych środowiskach pracy.
- Susceptor pokryty węglikiem krzemu stosowany do wzrostu monokryształów ma bardzo dużą płaskość powierzchni.
- Zmniejsz różnicę współczynnika rozszerzalności cieplnej pomiędzy podłożem grafitowym a warstwą węglika krzemu, skutecznie poprawiaj siłę wiązania, aby zapobiec pękaniu i rozwarstwianiu.
- Zarówno podłoże grafitowe, jak i warstwa węglika krzemu mają wysoką przewodność cieplną i doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła.
- Wysoka temperatura topnienia, odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze, odporność na korozję.