Nośnik powłoki RTP SiC

Semicorex RTP SiC Coating Carrier oferuje doskonałą odporność na ciepło i jednorodność termiczną, co czyni go idealnym rozwiązaniem do zastosowań związanych z przetwarzaniem płytek półprzewodnikowych. Dzięki wysokiej jakości grafitowi pokrytemu SiC, produkt ten został zaprojektowany tak, aby wytrzymać najcięższe warunki osadzania w przypadku wzrostu epitaksjalnego. Wysoka przewodność cieplna i doskonałe właściwości rozprowadzania ciepła zapewniają niezawodne działanie podczas RTA, RTP lub ostrego czyszczenia chemicznego.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Nasz nośnik powłoki RTP SiC został zaprojektowany tak, aby wytrzymać najcięższe warunki środowiska osadzania. Dzięki wysokiej odporności na ciepło i korozję, susceptory epitaksji są poddawane doskonałemu środowisku osadzania dla wzrostu epitaksjalnego. Drobna powłoka krystaliczna SiC na nośniku zapewnia gładką powierzchnię i wysoką odporność na czyszczenie chemiczne, a materiał został zaprojektowany tak, aby zapobiegać pęknięciom i rozwarstwianiu.
W Semicorex koncentrujemy się na dostarczaniu wysokiej jakości, ekonomicznego nośnika powłoki RTP SiC, priorytetowo traktujemy satysfakcję klienta i zapewniamy opłacalne rozwiązania. Z niecierpliwością czekamy na to, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem, dostarczającym produkty wysokiej jakości i wyjątkową obsługę klienta.
Skontaktuj się z nami już dziś, aby dowiedzieć się więcej o naszym nośniku powłoki RTP SiC.

Parametry nośnika powłoki RTP SiC

Główne specyfikacje powłoki CVD-SIC
Właściwości SiC-CVD
Struktura kryształu	Faza β FCC
Gęstość	g/cm³	3.21
Twardość	Twardość Vickersa	2500
Rozmiar ziarna	µm	2 ~ 10
Czystość chemiczna	%	99.99995
Pojemność cieplna	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacji	℃	2700
Siła Felexuralna	MPa (RT 4-punktowy)	415
Moduł Younga	Gpa (4-punktowe zagięcie, 1300℃)	430
Rozszerzalność cieplna (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Przewodność cieplna	(W/mK)	300

Cechy nośnika powłoki RTP SiC

Grafit pokryty SiC o wysokiej czystości
Doskonała odporność na ciepło i jednorodność termiczna
Drobna powłoka kryształowa SiC zapewniająca gładką powierzchnię
Wysoka odporność na czyszczenie chemiczne
Materiał został tak zaprojektowany, aby nie dochodziło do pęknięć i rozwarstwień.