Wiosło ceramiczne SiC

Łopatka ceramiczna Semicorex SiC to zaawansowana część opracowana do zastosowań w wysokotemperaturowych piecach półprzewodnikowych, takich jak utlenianie i dyfuzja. Łopatka działa jak wspornik, utrzymując i przesuwając płytki w wysokich temperaturach. Łopatka ceramiczna Semicorex SiC zapewnia komponenty ceramiczne o wysokiej czystości i wytrzymałości do procesów wysokotemperaturowych, które wymagają niezawodności, stabilności i wydajności w całym procesie produkcyjnym.

Łopatki produkowane są z wysokiej czystościwęglik krzemu (SiC)specjalnie opracowane, aby wytrzymać trudne warunki termiczne i chemiczne występujące w procesie produkcji półprzewodników. Gdy płytki są poddawane obróbce poprzez utlenianie i dyfuzję, są one poddawane działaniu temperatur przekraczających 1000 stopni C, a także reaktywnych gazów, takich jak tlen, para wodna lub atmosfera domieszki. W tych temperaturach integralność strukturalna będzie zależeć od czystości materiału.

Kolejną ważną cechą łopatek ceramicznych SiC jest ich doskonała wydajność w wysokich temperaturach. Ze względu na temperaturę topnienia SiC wynoszącą 2700+C, łopatki zachowują wytrzymałość i stabilność mechaniczną pod wpływem wysokiej temperatury

temperatury w czasie. Właściwości termiczne ograniczają wypaczanie i pękanie materiału podczas powtarzających się cykli ogrzewania i chłodzenia, zapewniając jednocześnie długą żywotność w środowiskach produkcyjnych.

Przetwarzanie półprzewodników wymaga ultraczystego środowiska, ponieważ nawet śladowe ilości zanieczyszczeń mogą mieć wpływ na wydajność i zachowanie urządzeń. Materiał SiC zastosowany w łopatkach posiada powłokę SiC osadzaną chemicznie z fazy gazowej (CVD), która zapewnia wyjątkowo wysoką czystość materiału, minimalizując jednocześnie zanieczyszczenia metaliczne. Ceramiczne wiosło SiC pozostaje czyste i stabilne przez cały okres użytkowania. Jako wsporniki wspornikowe, łopatki muszą zapewniać bezpieczne podparcie nośników płytek lub łódek podczas wkładania i wyjmowania z pieca. Z powoduSiCDzięki naturalnej wytrzymałości i sztywności charakteryzują się dobrymi właściwościami nośnymi przy minimalnym ugięciu, co jest niezbędne do prawidłowego przenoszenia i ustawiania płytek. W piecach utleniających i dyfuzyjnych atmosfery korozyjne mogą z czasem atakować i degradować tradycyjne materiały, ale SiC ma zdolność utrzymywania swojej stabilności chemicznej, wydłużając żywotność łopatki. Powoduje to radykalne zmniejszenie kosztów konserwacji i wymiany, ponieważ łopatki nie wymagają wymiany ani naprawy niemal tak często.

Oprócz wydajności istnieje możliwość dostosowania łopatek do konkretnego sprzętu i procesów. Wymiary, tolerancje i wykończenie powierzchni można uelastycznić, aby zapewnić dopasowanie konstrukcji pieca do dowolnego innego systemu transportu płytek. Możliwość osiągnięcia wysokiego stopnia dokładności wymiarowej przy precyzyjnej obróbce ceramiki umożliwi również produkcję łopatek spełniających złożone geometrie. Cały ten zakres funkcji ma zapewnić bezproblemową pracę i łatwą integrację z istniejącymi liniami produkcyjnymi.

węglik krzemu (SiC)łopatki, dzięki połączeniu wysokiej czystości, stabilności termicznej, wytrzymałości mechanicznej i odporności chemicznej, są niezbędnymi materiałami w procesach utleniania i dyfuzji półprzewodników. Zapewniając stabilną, czystą platformę do przenoszenia płytek, bezpośrednio przyczyniają się do poprawy wydajności, spójności procesu i ogólnej wydajności produkcji.